真空科学与技术

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真空科学与技术 关注(): 期刊周期：月刊; 期刊级别：北大核心; 国内统一刊号：11-5177/TB; 国际标准刊号：1672-7126; 主办单位：中国真空学会; 主管单位：中国科学技术协会; 查看真空科学与技术学报近十年数据入口>>>; 上一本期杂志：《材料科学与工程学报》工程论文; 下一本期杂志：《材料研究学报》核心科技期刊

　　【杂志简介】

　　《真空科学与技术》主要刊登真空技术、表面与界面物理与化学、表面分析、电子材料、薄膜物理与工艺、真空冶金、等离子体科学与工艺等。

　　主要栏目有：学术论文、综述评论、技术交流、工业技术、科研动态与学术活动、快报等。

　　【收录情况】

　　国家新闻出版总署收录　该刊被以下数据库收录：

　　CA 化学文摘(美)(2009)

　　SA 科学文摘(英)(2009)

　　CBST 科学技术文献速报(日)(2009)

　　EI 工程索引(美)(2009)

　　中国科学引文数据库(CSCD—2008)

　　【核心期刊】

　　中文核心期刊(2008)

　　中文核心期刊(2004)

　　中文核心期刊(2000)

　　中文核心期刊(1996)

　　【栏目设置】

　　主要栏目有：学术论文、综述评论、技术交流、工业技术、科研动态与学术活动、快报等。

　　杂志优秀目录参考：

　　容性耦合等离子体腔室放电特性仿真研究杨旺，刘学平，夏焕雄，向东，牟鹏，Yang Wang，Liu Xueping，Xia Huanxiong，Xiang Dong，Mou Peng

　　用Langmuir探针法标定的发射光谱法诊断等离子体电子密度及分布陈宗胜，林志丹，时家明，马丽芳，Chen Zongsheng，Lin Zhidan，Shi Jiaming，Ma Lifang

　　基于PEM和模糊PI的反应磁控溅射非线性控制方法张军，叶敏，张新荣，张道配，Zhang Jun，Ye Min，Zhang Xinrong，Zhang Daopei

　　应用于等离子体破裂防护的双涡流驱动快速充气阀的研制庄会东，张晓东，Zhuang Huidong，Zhuang Xiaodong

　　多模式旋转磁场对电弧离子镀弧斑放电的影响分析郎文昌，高斌，杜昊，肖金泉，谢婷婷，王向红，Lang Wenchang，Gao Bin，Du Hao，Xiao Jinquan，Xie Tingting，Wang Xianghong

　　高碳锰铁预氧化—真空脱碳制备低碳锰铁热力学分析及实验研究徐宝强，马永博，杨斌，刘大春，Xu Baoqiang，Ma Yongbo，Yang Bin，Liu Dachun

　　TiO2真空碳热反应及可溶性TiO阳极电解过程研究赵坤，王耀武，陈昪，李应龙，冯乃祥，Zhao Kun，Wang Yaowu，Chen Bian，Li Yinglong，Feng Naixiang

　　气相合金化制备镁锌二元合金的研究牛立斌，许臻，彭建洪，王晓刚，樊子民，Niu Libin，Xu Zhen，Peng Jianhong，Wang Xiaogang，Fan Zimin

　　氧化铝真空碳热还原氯化歧化过程中二氯化铝行为研究卢勇，周岳珍，陈秀敏，舒凯，高腾飞，郁青春，刘大春，杨斌，徐宝强

　　磁控溅射制备Er3+掺杂Al2O3薄膜的上转换发光特性王俊，毛鑫光，沈杰，Wang Jun，Mao Xinguang，Shen Jie

　　Ti6Al4V磁控溅射沉积Ti-Ag-(N)薄膜及其抗菌性的研究郭杨阳，田伟红，黄晓波，张翔宇，李轩鹏，范爱兰，唐宾，刘小萍

　　真空蒸镀Ag2O/HDPE膜对奶酪的保鲜性研究李亚娜，徐伟民，张国全，Li Yana，Xu Weimin，Zhang Guoquan

　　N离子注入对TiN薄膜的组织及性能的影响冯军，金凡亚，童洪辉，但敏，沈丽如，陈美艳，邓雉，赖新春

　　交通类论文发表：接触网作业车制动闸瓦偏磨原因分析及改进

　　摘　要：接触网作业车是电气化铁路接触网日常维修、大修、事故抢修和施工的重要机具。其作业车制动系统性能好坏，将直接影响其行车安全。笔者结合多年的现场检修工作经验与专业理论知识，通过对接触网作业车制动闸瓦偏磨原因分析，采取科学有效措施，并在作业车上进行成功改造，使制动闸瓦偏磨问题得到彻底解决。

　　关键词：闸瓦偏磨,接触网原因,基础制动,措施

　　随着电气化铁道向高速、重载方向快速发展，对接触网可靠性的要求越来越高，也对接触网作业车行车安全提出更高要求。随着我段接触网作业车使用年限增加，制动闸瓦偏磨越来越严重，直接影响行车安全。

　　真空科学与技术最新期刊目录

消除磁控溅射Cr薄膜应力环状缺陷的工艺优化

摘要：针对磁控溅射沉积Cr薄膜中出现的周期性同心圆条纹及应力环状缺陷问题，本文提出了一种通过工作气压调控结合双靶共溅射的工艺优化方案。通过系统实验对比了不同气压及靶位布局对应力分布的影响。结果表明，提升工作气压并引入双靶共焦正对溅射技术，可显著增强溅射粒子在输运过程中的散射作用，有效减弱高能粒子对基片的轰击。优化后的工艺成功消除了薄膜表面的同心圆条纹缺陷，并显著改善了应力分布的均匀性，为高质量铬薄膜的制...

负压隔膜泵结构优化及性能验证

摘要：负压隔膜泵通过隔膜往复运动实现流体输送，具备深度真空抽取与高压流体压缩的功能，在精密流量及真空控制等领域得到广泛应用。负压隔膜泵所能达到的负压值及负压稳定性是影响流量、噪声和负载振动的关键，本文基于减小隔膜形变占用体积以提高隔膜泵负压性能的原理，提出了增大隔膜刚性支撑横梁尺寸、降低偏心轮偏心量的高负压隔膜结构设计优化方法；并对其改进优化效果进行了实验验证。实验结果表明，改进优化后的负压隔膜泵相比改...

介质阻挡放电非平衡态等离子体处理含聚废水油水分离实验研究

摘要：针对聚合物驱油废水高黏度、强乳化稳定性导致油水分离困难的问题，构建了介质阻挡放电（DBD）结构的非平衡态等离子体反应器，开展了模拟含聚废水油水分离实验。系统考察了溶液浓度、油水体积比、放电电压、放电时间及电极配置等因素对油去除行为的影响，并结合溶液黏度及水质参数变化分析分离机理。结果表明，在HPAM 质量浓度 1 g/L、油水体积比 1:100、放电电压峰值 30 kV、单电极配置、处理时间 12...

JCPY-4.2D真空镀膜机器人设计仿真与性能试验

摘要：针对大型复杂曲面工件真空镀膜的高精度、多层膜系制备需求，研发JCPY-4.2D真空镀膜机器人系统。该机器人采用5自由度直角坐标+回转结构设计，适配工作温度15℃～120℃、工作压力2×10?³ Pa环境下的磁控溅射镀膜，可实现30kg负载下±1mm重复定位精度和±3mm靶基距控制精度。通过SolidWorks完成本体结构建模与干涉校验，基于ANSYS开展关键部件静力学仿真，利...

涡轮分子泵跨流态模拟及结构灵敏度分析

摘要：针对超高真空获得中以氢气为代表的轻气体难以有效抽除，以及涡轮涡轮分子泵在跨流态（由分子流向过渡流转变）区域抽气效率显著衰减及结构设计缺乏理论指导的问题，本文采用基于 OpenFOAM 的直接模拟蒙特卡洛（DSMC）方法，建立了涡轮级二维叶列的数值计算模型。在验证了模型网格无关性并与Kruger理论值及Sawada实验数据进行对比验证的基础上，系统研究了不同流态下入口压力、转速比及结构参数（节弦比、...

脉冲电压大小对2024铝合金表面沉积DLC薄膜性能调控机制研究

摘要：采用等离子体增强化学气相沉积技术，在2024铝合金表面沉积类金刚石（DLC）薄膜，研究了脉冲电压对薄膜微观键合结构、表面形貌以及整体服役性能的影响。结果表明，随脉冲电压升高，薄膜厚度不断增大，氢含量及C–H键逐渐减少，sp杂化键含量升高，表面粗糙度呈先降低后升高的趋势，在1800V时薄膜最为平整且致密。薄膜与基体的结合强度随电压增加而降低，高电压下内应力显著增大。薄膜硬度和弹性模量随电压先升高后降...

锆掺杂氧化镁-金薄膜二次电子发射性能研究

摘要：随着真空电子技术的发展，一系列仪器设备需利用高增益、快响应、长寿命的电子倍增器来提升综合性能。为满足真空电子领域对高性能电子倍增器的需求，本文研究了一种基于锆掺杂的氧化镁-金薄膜。利用Materials Studio软件的CASTEP模块对MgO掺杂Zr的情况进行第一性原理计算，分析几何优化后超晶胞的电子结构得出，进行Zr掺杂后晶体禁带宽度变窄、特定晶面的功函数降低，为后续实验提供支撑。利用磁控溅...

低真空节流元件内颗粒团聚与沉积仿真研究

摘要：本研究通过数值模拟的方法研究了低真空条件下（4000 Pa）UF₆气流中的亚微米UO₂F₂颗粒（0.2 μm和1 μm）在管道内的团聚和沉积特性。在欧拉-拉格朗日框架下构建了用于描述气固两相流中颗粒团聚和沉积的动力学模型，其中团聚模型考虑了湍流团聚和布朗团聚，沉积模型是基于能量守恒的临界速度模型。在此基础上研究了节流件结构、气体流量...

W波段修正矩形环对角双杆行波管研究

摘要：当代真空电子技术的发展，对行波管的工作频段、工作带宽以及电子效率提出了更高的要求。为了迎接下一代卫星通信领域里新的挑战，本文开展W波段修正矩形环对角双杆慢波结构行波管研究。在详细分析行波管慢波结构的高频特性基础上，获得了平坦色散、高互作用阻抗的矩形环对角双杆慢波结构参数，而采用相对较细的连接杆可以获得更大的互作用阻抗。采用侧面共面输入输出耦合器，在70-110GHz频带范围内获得了S_11...

弧形转子的叶片弧度对套轴式对转水力空化反应器空化性能影响的研究

摘要：水力空化技术是一种新型高效氧化技术，广泛应用于工业废水处理、能量转化和环境保护，具有成本低、能效高、操作简便等优点。本文根据实验室已有的套轴式对转水力空化反应器，提出三种不同弧度的弧形转子，研究叶片弧度和转速对套轴式对转水力空化反应器性能的影响，利用Fluent软件进行了模拟计算和参数对比分析。结果显示，叶片弧度与转速共同影响空化表现。2400r/min时，60°叶片空化最强但区域集中，空化体积为...

基于PIC-MCC方法对溅射离子泵放电过程的研究

摘要：溅射离子泵抽气性能依赖于复杂的放电过程，涉及粒子碰撞、气体电离等微观机制，直接影响其电离效率、抽速及低气压下的稳定性和寿命。传统实验方法成本高、条件苛刻，而数值模拟高效可控，其中粒子模拟方法因其较高精度和对非平衡态的适用性已成为研究放电过程的重要手段。现有研究多聚焦宏观参数，缺乏对带电粒子微观运动和电磁场动态影响的深入分析。本文采用粒子网格法（PIC）结合蒙特卡洛碰撞（MCC）方法，通过VSim软...

动态吸脱附效应对空间引力波惯性传感器残余气体噪声的影响

摘要：残余气体噪声是限制空间引力波惯性传感器测量精度的重要因素，对空间引力波探测至关重要。空间引力波惯性传感器在轨运行时残余气体主要为氢气和水分子，研究难点在于水分子残余噪声的评估。水分子在金属表面滞留时间跨度长，可达10^-3 s到10⁵ s，使得其施加在测试质量上的冲量间隔拉长，对0.1 mHz到100 mHz低频引力波信号产生干扰，即水分子的动态吸脱附效应...

地外星球中甲烷来源检测方法

摘要：寻找地外生命迹象是当前深空探测的核心目标。甲烷(CH₄)作为结构最简单的有机物，不仅是行星中复杂有机物合成的前体，也是示踪生命活动与地质演化过程的核心标志物，因此对其来源的检测分析具有重大意义。不同成因机制赋予了甲烷独特的同位素特征，使得同位素组成成为判别其来源的关键。此篇综述首先介绍地球上甲烷的来源与分析依据，重点对比了适用于深空探测任务的原位光谱与质谱探测技术，以及基于采...

面向宽高度域的温压环境模拟：设计与试验验证

摘要：针对现有环境模拟设备难以实现宽高度域温压连续耦合控制的难题，设计并研制了一套宽高度域温压环境模拟系统。系统采用宽压力范围分段协同压力控制架构，提出多模态温度控制方法，实现宽高度域的温压环境模拟。实验验证表明：系统压力控制范围达5×10??Pa至10?Pa，常压控制精度可达0.03%，5.5kPa至常压控制精度优于±0.3%，0.01Pa至5.5kPa控制精度优于±10%；温度范围-173℃至+60...

基于光腔衰荡吸收光谱技术的极小真空分压力校准设备研究进展

摘要：为进一步降低真空分压力的测量下限并解决传统真空计量仪器周期性校准等问题，开始采用光量子技术进行真空分压力的测量与校准。该方法基于光腔衰荡吸收光谱（CRDS）技术实现气体吸收系数的高精度测量，并依据相关公式反演气体分子数密度，进而获得对应气体的真空分压力量值。文章基于CRDS技术发展，系统梳理了光腔衰荡吸收光谱技术的出现与发展过程，展示了其在真空分压力领域的非侵入、高灵敏度、免校准等独特优势，并通过...

基于双矩形密封圈超高真空差分旋转机构设计与实验

摘要：本文针对超高真空（UHV）设备实现从大气环境到超高真空环境可靠过渡，同时提供360°连续、精密旋转运动的使用需求，采用带尖角的矩形密封圈并设计了相应的旋转差分密封机构。利用有限元分析软件，对常用的O形密封圈与带尖角矩形密封圈表面接触应力进行了分析，对比相似最大表面接触应力下阻力的关系，并搭建实验系统研究单胶圈密封和差分密封在静态和旋转运动情况下的真空密封性能。结果表明带尖角的矩形密封圈在动密封方面...

基于质谱法的水蒸气透过率测试系统设计及实验研究

摘要：水蒸气透过率是评估薄膜阻隔性能的关键技术指标，目前常用的检测方法精度较低，测量量程有限。基于气体分子渗透理论，开展了不同温湿度真空环境下的水蒸气透过薄膜的吸附、溶解、渗透、扩散及脱附的物理过程的研究，分析了阻隔性能的测试方法及其测试系统的基本特征，提出以质谱法分析技术为核心的高精度水蒸气透过率测试系统设计方案。开发了测试系统装置，实现了系统经针阀微量取样、四极质谱仪精确测量透过薄膜的水蒸气分压，通...

新型非对称变间隙涡旋齿型线设计及内部流动特性实验研究

摘要：现有非对称式涡旋结构存在工作腔压力不平衡以及和排气口压力波动的问题，在此背景下开展开涡旋真空泵型线的研究，将对称式涡旋型线里中的组合型线应用到非对称涡旋型线中，构建出新型非对称涡旋型，提出解决啮合难题的非对称式圆弧修正法来解决啮合难题，设计非对称变间隙涡旋齿型线曲线方程，并提出了非对称式涡旋真空泵型线中为了保证涡旋机械能够高效稳定地运行，两组工作腔压力不等的情况可以借助梯度变化的啮合间隙来得到改善...

海风直流汇集系统用直流断路器中真空触头间隙磁场特性研究

摘要：面向海上风电直流汇集系统的经济型、紧凑化振荡式直流断路器，其所配置真空开关的触头结构形式对整体开断性能具有关键影响。触头间隙的磁场分布特性不仅决定了对真空电弧的调控能力，还直接关系到弧后介质的恢复特性。为此，本文建立了两种典型的触头结构模型，利用多物理场仿真方法研究了其在直流开断电流作用下的磁场分布规律，并与交流条件下的特性进行了对比分析。研究表明，纵磁触头在直流开断工况下的开断能力削弱较为明显，...

气体分析仪可靠性提升的关键技术和设计研究

摘要：针对气体分析仪在复杂应用场景下对可靠性、稳定性及检测性能的高要求，文章以全国产化设计的大质量数（1～1000 amu）四极质谱计为核心，研制了用于气体成分分析的气体分析仪。为提升仪器综合性能，从宽变压精准进样方法、射频电源优化、质谱扫描模式改进等关键环节开展设计。实现常压的气体样品精确进样，解决测试质量歧视问题，提高了混合气体分辨能力。性能测试结果表明，仪器稳定性测试结果为2.98%，重复性测试结...

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