【杂志简介】
《微电子技术》以促进我国纳米电子技术不断发展为办刊目的。 创刊4年以来，汇集了纳米电子、机械、材料、制造、测量以及物理、化学和生物等不同学科新生长出来的微小和微观领域的科学技术群体，通过报道国内外纳米电子技术方面的研究论文和综述动态,为纳米研究领域的技术人员提供纳米技术领域新的突破方法和新的研究方向，为纳米技术领域中从事原始创新和基础探索的科研工作者、大学教师和学生提供了一个纳米电子技术成果展示、转化和技术交流的平台。
【收录情况】
国家新闻出版总署收录 获奖情况
2002-2003和2003-2004年度，均获信息产业部电子科技期刊编辑质量优秀奖
2005-2006年度获信息产业部电子科技期刊学术技术水平优秀奖
中国学术期刊执行(光盘版)检索与评价数据规范优秀期刊
2007-2008年度又荣获工业和信息化部电子科技期刊学术技术水平优秀奖。
俄罗斯《AJ》收录
英国《SA》,INSPEC数据库收录
美国《剑桥科学文摘》收录
【栏目设置】
主要栏目：专家论谈、纳米器件与技术、纳米材料与纳料结构、MEMS器件与技术、显微、测量、微细加工技术与设备、企业与人物追踪、业界快讯等。
杂志优秀目录参考：
1 Ⅲ-Ⅴ多结太阳电池隧道结模型的研究进展 陈帅;杨瑞霞;吴亚美; 545-553
2 PMMA栅绝缘层表面形貌对并五苯OTFT性能的影响 李雪飞;王伟;王帅;石晓东; 554-558+580
3 金纳米棒复合结构中的双重法诺共振效应 齐信;黄运欢;薛保平; 559-564
4 组合式MEMS三维矢量水声传感器 郭楠;张国军;刘梦然;简泽明;张文栋; 565-569+596
5 基于PNP模型微通道内幂律流体电渗流数值模拟 申力;李鸣;杨大勇; 570-575
6 基于流动聚焦结构的微液滴形成机理 杨丽;周围;王学浩;程景萌;王媛媛;张思祥; 576-580
7 一种高温压阻式压力传感器的制备与倒装焊接 李丹丹;梁庭;姚宗;李赛男;熊继军; 581-585
8 基于小波包络提取法的白光干涉测量系统 简黎;雷李华;李东升;孙晓光;蔡潇雨;李源; 586-591+610
9 碱性铜精抛液中活性剂对平坦化效果的影响 贾少华;刘玉岭;王辰伟;闫辰奇; 592-596
10 UV-LIGA技术制备频率选择表面的研究 林彬彬;陈迪;林树靖;谢耀;袁涛;崔大祥; 597-602
11 阻挡层CMP中螯合剂FA/OII对抛光效果的影响(英文) 荣颖佳;王胜利;刘玉岭;王辰伟;高娇娇;张文倩; 603-610
12 第11届国际专用集成电路会议第一次征稿通知 611-612
通信技术杂志投稿：信息技术在体育教学中的应用
摘 要：随着科学技术的迅猛发展，信息技术越来越广泛地应用于各个领域，怎样把信息技术与体育课程有效整合，达到课堂教学效果的最优化是每位体育教师所面临的课题。本文结合自身的实践，做了有益的尝试。
关键词：通信技术杂志,信息技术, 体育
在新课标下，如何做到将信息技术合理应用到体育教学中，激发学生兴趣，开发教学资源，优化教学过程呢?笔者结合个人教学实际，谈谈自己的看法。
微纳电子技术最新期刊目录
基于摩擦纳米发电机的小尺寸风速传感器设计————作者：戴冠宇;苏玉香;吴金霖;郭瀚;刘兴旺;
摘要：为解决当前基于摩擦纳米发电机（TENG）的风速传感器尺寸较大、应用受限的问题,提出一种基于摩擦纳米发电机的小尺寸风速传感器（MA-TENG）,其设计尺寸较小,长、宽、高分别为45、30和22 mm,质量仅14.9 g,适用范围广泛。研究结果表明MA-TENG的开路电压幅值最高达到200 V左右,根据其电压信号的频率与风速之间存在的线性关系,对频率与风速进行拟合,拟合优度R2为...
锡掺杂二维卤化铅钙钛矿（PEA）2PbBr4的电学性能研究————作者：孙艺;刘淇铭;王钟石;吴东旭;徐姣;
摘要：在太阳能电池、忆阻器、场效应晶体管等多个领域,二维卤化铅钙钛矿在引入有机阳离子以隔绝湿气与氧气来提高材料稳定性的同时也使得其导电性受到影响。另外,二维卤化铅钙钛矿中存在重金属有毒元素铅,会对环境和人体产生危害。研究认为B位掺杂是解决晶体毒性问题和提高光电性能的主要途径。Pb2+具有非常稳定的空间结构,掺杂元素很难进行取代,所以B位掺杂是一个技术难题。通过原位掺杂的方法在二维卤...
石墨烯/碳化硅异质结构界面热输运特性研究————作者：于传军;王鹏博;刘东静;袁启彬;过浙锋;蓝宏鑫;
摘要：提升散热性能对于高功率碳化硅器件可靠性至关重要,采用非平衡分子动力学方法研究石墨烯/碳化硅异质结构的传热特性,重点探讨温度、热流方向和界面尺寸对界面热导的影响。研究发现,不同温度下石墨烯/4H-Si C异质结构的界面热导始终大于石墨烯/3C-Si C的界面热导。当温度从300 K增加到800 K时,石墨烯/4H-SiC结构的界面热导从0.352 4 GW/（m2·K）升高到0...
基于TGV技术的FAIMS气体传感器研制————作者：胡郑蕊;李山;刘少敏;刘友江;王晗;徐椿景;魏健辉;陈池来;
摘要：提出了一种基于玻璃通孔（TGV）垂直引线的玻璃基高场不对称波形离子迁移谱（FAIMS）分析器结构,研制出微型化、低噪声FAIMS气体传感器,并对其环境噪声屏蔽和气体检测性能进行了测试。研究结果表明,通过垂直引线的屏蔽电极设计,该传感器的检测基线噪声低至16f A,具有良好的噪声屏蔽性能。选择典型挥发性有机物乙苯作为测试样品,评估了FAIMS气体传感器的响应特性,并获得了乙苯的谱图和响应曲线。在体积...
基于ABW模型的纳米定位迟滞抑制与精度控制————作者：居倩;姜健康;朱军辉;汝长海;
摘要：在精密工程中,纳米定位平台具有关键作用,然而,定位精度不足仍然是限制其在高精度应用场景中进一步发展的主要障碍。通过实验测试,揭示了纳米定位平台迟滞特性导致的运动非线性现象。针对传统Bouc-Wen模型对于迟滞曲线建模精度不佳的情况,采用了非对称BoucWen (ABW)模型,并利用粒子群优化(PSO)算法进行参数辨识,与传统模型相比,改进模型的均方根误差和最大误差分别降低了58.09%和39.73...
TiO2掺杂对β″-Al2O3微观组织及阳极键合性能的影响————作者：许兆麒;刘翠荣;阴旭;于秀秀;王强;刘淑文;
摘要：β″-Al2O3是一种常用于阳极键合的固体电解质材料，通过掺杂质量分数1.0%TiO2的固相反应法制备β″-Al2O3,改善其微观结构。对比未掺杂和掺杂TiO2的样品，通过X射线衍射（XRD）发现TiO2的加入有效抑制了β″-Al2 基于ALD的高深宽比微孔光学元件内壁Al2O3薄膜研究————作者：李明轩;唐吉龙; 摘要：在微纳光学以及半导体领域中，高深宽比器件如三维芯片、集成电路、微通道板等十分常见。而由于其本身内部结构的复杂性，在器件内部进行薄膜沉积时，高精度的薄膜生长技术至关重要。主要研究了在高深宽比微孔光学器件中，使用原子层沉积(ALD)技术沉积氧化铝薄膜。讨论了温度和前驱体暴露量对沉积效率以及沉积结果的影响，并对沉积方案进行优化，最后利用能谱仪对薄膜进行表征，通过对结果的分析可知，微孔内部各处氧化铝薄膜表... 基于核酸生物传感器检测HR-HPV研究进展————作者：师瑶;王发展;韩磊磊; 摘要：宫颈癌是威胁全球妇女健康的第三大常见癌症，大多数情况下由高危人乳头瘤病毒(HR-HPV)持续感染引起，HR-HPV感染的复发性较高，准确的筛查对其控制至关重要。常用的聚合酶链反应(PCR)技术受到专业设备和人员的限制，无法满足基层临床检测的需求，因此，研发检测步骤简单且灵敏度高的方法至关重要。综述了基于改进PCR、环介导等温扩增(LAMP)、重组酶聚合酶扩增(RPA)、杂交链反应(HCR)、催化发... 应用于热泵空调系统的MEMS压力温度传感器设计及验证————作者：许鹏;聂靖宇;王伟忠;李保岭; 摘要：为了延长电动汽车的续航能力，热泵空调系统逐渐取代了传统的正温度系数（PTC）热敏电阻空调，应用于热泵空调系统的压力温度传感器是系统控制的关键部件。基于一款可以直接接触冷媒的微电子机械系统（MEMS）压阻式压力芯片，采用无引线倒装焊封装工艺，结合模块化装配的设计思路，开发了一款应用于汽车空调系统的压力温度传感器，并通过仿真手段证明了传感器的结构可靠性。通过对传感器进行测试，传感器的压力精度可以达到全... 基于田口方法的CMOS栅极掩膜层清洗工艺优化研究————作者：吴国才;张玉龙;孙瑞;时建成;杨彪; 摘要：返工清洗互补金属氧化物半导体（CMOS）晶体管栅极上的光刻胶掩膜层，不合理的工艺将会导致栅极膜层电阻的偏高。制备多晶硅/WSi2结构的CMOS栅极膜层，然后对栅极进行光刻图形化处理并明确光刻胶清洗的机理。通过引入田口方法组合清洗工艺中的变量和分析实验数据，确定了栅极膜层电阻偏高的主要因素。再结合WSi2的膜厚变化情况，推测引起电阻偏高的主要原因，提出调换... 基于RBF自适应滑模的旋转式压电纳米探针台轨迹跟踪控制————作者：马诗雨;孟思源;丁戍辰;汝长海; 摘要：随着微纳技术的快速发展，旋转式压电纳米探针台在高真空扫描电子显微镜(SEM)中的应用需求日益增加。为了解决压电驱动设备面临的非线性特性和不确定性干扰，提出一种基于径向基函数(RBF)神经网络的自适应滑模控制(RBF-ASMC)方法。通过结合拉格朗日方法和压电材料的迟滞模型，建立了旋转式压电纳米探针台的动力学模型，并采用RBF神经网络逼近系统未知动态，利用神经网络自适应律优化控制参数。仿真结果表明，... 金属氧化物框架复合材料修饰玻碳电极同时测定水中铅和镉————作者：蒋红娟; 摘要：使用ZIF-8与金属铋合成复合材料，与羧基化多壁碳纳米管（CMWCNT）对玻璃碳电极（GCE）进行修饰得到Bi@ZIF-8/CMWCNT/GCE电化学传感器。由于ZIF-8的多孔性和大比表面积、铋对Pb2+和Cd2+的吸附性以及羧基多壁碳纳米管的导电性，使传感器具有同时检测水中Pb2+和Cd2+的能力。最优条件... 导电胶粘接片式元件接触电阻可靠性研究————作者：史海林;刘家龙;弓明杰;王攀;卢朝阳;关超; 摘要：为验证导电胶粘接片式元件接触电阻可靠性，制备自动粘接和人工粘接样品，以高温老化、环境试验、机械试验作为考核条件，研究了导电胶粘接片式元件接触电阻可靠性。研究结果表明，采用自动粘接工艺的导电胶接触电阻在考核前后的一致性优于人工粘接工艺。经过168 h/125℃和1 000 h/125℃老化后，自动粘接与人工粘接工艺的导电胶接触电阻分别增加约5%和20%;经过环境试验及机械试验后，自动粘接工艺导电胶接... 双通道协同解耦SAW应变传感器的结构设计与制造————作者：郑引荣;梁晓瑞;谭秋林; 摘要：为满足发动机、燃气轮机等高温高旋环境下关键部件的健康监测需求,基于硅酸镓镧(LGS)基底创新性地提出了一种双通道协同解耦的高温稳定型声表面波(SAW)应变传感结构。该传感系统采用独特的90°空间正交布局设计,由两个高性能谐振器构成传感单元对,通过高温稳定的铂浆料和铂丝引线实现传感元件在800℃极端环境下的可靠互连。通过优化设计双通道协同解耦算法,可有效消除温度引起的干扰,在25～800℃的宽温域范... 激光退火作用对Ni-SiC欧姆接触形成的影响机制研究————作者：陈丝雨;陈冬冬;王晓峰;潘岭峰;黄永忠; 摘要：与传统的快速热退火（RTA）相比,激光退火（LA）具有作用时间极短及范围可控等优势,并可通过调节激光参数,实现可控的退火效果。采用不同波长、脉宽和能量密度的激光束对Ni-SiC样品进行退火处理,探讨了在欧姆接触形成过程中,这些参数对方块电阻-能量密度（Rs-ED）曲线、样品形貌以及表面粗糙度的影响,分析了欧姆接触形成的机理。研究发现,金属Ni对351nm波长激光的吸收率高于对... 面向胶囊机器人的Huber加权抗干扰磁定位方法————作者：林宇飞;苏诗荐;戴厚德; 摘要：胶囊机器人因其无创、无痛等特点在胃肠道疾病诊疗中展现出广阔的应用前景,基于永磁场的定位技术凭借其高精度与适应性,在胶囊的体内定位应用中备受关注。然而,复杂手术环境中普遍存在的铁磁物质及外来磁源,会引发硬铁、软铁效应,严重影响定位精度。为此,提出了一种融合Huber加权算法与动态初值策略的磁定位方法。首先,通过Huber核函数对可能受干扰的传感器测量值进行差异化处理,削减异常测量数据的权重;其次,通... 封装基板关键技术进展及展望————作者：杨宏强;方建敏;李光耀; 摘要：封装基板是半导体封装过程中广泛使用的基础材料之一。首先阐述了基板的起源、种类(单块和单元基板)、应用和组成；之后从先进基板制造工艺角度，详细分析了线路图形工艺(减成法、改进半加成法和半加成法)、芯板结构(有芯、无芯)、内置元器件(有源、无源)以及最近兴起的玻璃芯基板、多层布线芯板基板的应用场景、制作方法和工艺能力；最后从基板类型和应用角度，展望了先进基板关键技术的未来趋势 一种高稳定性带过流保护的LDO电路设计————作者：韩富璇;何庆国;王鑫;马琳; 摘要：采用0.25μm CMOS工艺设计了一种高稳定性带过流保护功能的低压差线性稳压器(LDO)。该LDO包括带隙基准电路、误差放大器、过流保护电路等。过流保护电路可以在LDO负载超过设定值时关闭LDO电路。误差放大器主环路采用负载电容等效串联电阻(ESR)和密勒电容倍增补偿进行频率补偿，保证全负载条件下电路的稳定性。仿真结果表明，设计的LDO实现了7～15 V的输入电压范围，输出电压典型值为5 V,带... Ka波段小型化多通道新型封装天线设计————作者：杨兆龙;刘林杰;乔志壮; 摘要：封装天线(AiP)是一种能够实现低成本制备、高性能以及小体积天线的技术，在移动通信等领域有着广泛的应用。目前以高温共烧陶瓷(HTCC)作为封装材料的AiP大多属于多层结构，通过牺牲天线尺寸来实现宽带和高增益特性，结构复杂，集成度较低。提出了一种新型的小型化封装天线结构。以HTCC作为介质基板材料，通过将传统Vivaldi天线和微带八木天线相结合，在保证天线有足够增益的前提下有效减小了天线尺寸。设计... 面向CMUT的驱动电路设计和激励信号优化————作者：孙帅文;何常德;吴帅琦;张文栋;张国军;杨玉华;王任鑫; 摘要：电容式微机械超声换能器(CMUT)具有微型化、易与电子产品集成、与人体组织阻抗匹配良好、机电转换效率高、灵敏度高、频带宽和成本低等优点。CMUT在医学成像、无损检测和流速测量等领域展现出极大应用潜力。针对CMUT,设计了一套高压脉冲激励系统，可以用于激励CMUT发送超声波。使用该系统对CMUT进行不同发射波形的测试对比。实验结果显示：在正极性偏置电压下，对上电极施加峰峰值相同的负极性脉冲方波、双极... 相关电子信息期刊推荐 核心期刊推荐
