【杂志简介】
《微电子技术》以促进我国纳米电子技术不断发展为办刊目的。 创刊4年以来，汇集了纳米电子、机械、材料、制造、测量以及物理、化学和生物等不同学科新生长出来的微小和微观领域的科学技术群体，通过报道国内外纳米电子技术方面的研究论文和综述动态,为纳米研究领域的技术人员提供纳米技术领域新的突破方法和新的研究方向，为纳米技术领域中从事原始创新和基础探索的科研工作者、大学教师和学生提供了一个纳米电子技术成果展示、转化和技术交流的平台。
【收录情况】
国家新闻出版总署收录 获奖情况
2002-2003和2003-2004年度，均获信息产业部电子科技期刊编辑质量优秀奖
2005-2006年度获信息产业部电子科技期刊学术技术水平优秀奖
中国学术期刊执行(光盘版)检索与评价数据规范优秀期刊
2007-2008年度又荣获工业和信息化部电子科技期刊学术技术水平优秀奖。
俄罗斯《AJ》收录
英国《SA》,INSPEC数据库收录
美国《剑桥科学文摘》收录
【栏目设置】
主要栏目：专家论谈、纳米器件与技术、纳米材料与纳料结构、MEMS器件与技术、显微、测量、微细加工技术与设备、企业与人物追踪、业界快讯等。
杂志优秀目录参考：
1 Ⅲ-Ⅴ多结太阳电池隧道结模型的研究进展 陈帅;杨瑞霞;吴亚美; 545-553
2 PMMA栅绝缘层表面形貌对并五苯OTFT性能的影响 李雪飞;王伟;王帅;石晓东; 554-558+580
3 金纳米棒复合结构中的双重法诺共振效应 齐信;黄运欢;薛保平; 559-564
4 组合式MEMS三维矢量水声传感器 郭楠;张国军;刘梦然;简泽明;张文栋; 565-569+596
5 基于PNP模型微通道内幂律流体电渗流数值模拟 申力;李鸣;杨大勇; 570-575
6 基于流动聚焦结构的微液滴形成机理 杨丽;周围;王学浩;程景萌;王媛媛;张思祥; 576-580
7 一种高温压阻式压力传感器的制备与倒装焊接 李丹丹;梁庭;姚宗;李赛男;熊继军; 581-585
8 基于小波包络提取法的白光干涉测量系统 简黎;雷李华;李东升;孙晓光;蔡潇雨;李源; 586-591+610
9 碱性铜精抛液中活性剂对平坦化效果的影响 贾少华;刘玉岭;王辰伟;闫辰奇; 592-596
10 UV-LIGA技术制备频率选择表面的研究 林彬彬;陈迪;林树靖;谢耀;袁涛;崔大祥; 597-602
11 阻挡层CMP中螯合剂FA/OII对抛光效果的影响(英文) 荣颖佳;王胜利;刘玉岭;王辰伟;高娇娇;张文倩; 603-610
12 第11届国际专用集成电路会议第一次征稿通知 611-612
通信技术杂志投稿：信息技术在体育教学中的应用
摘 要：随着科学技术的迅猛发展，信息技术越来越广泛地应用于各个领域，怎样把信息技术与体育课程有效整合，达到课堂教学效果的最优化是每位体育教师所面临的课题。本文结合自身的实践，做了有益的尝试。
关键词：通信技术杂志,信息技术, 体育
在新课标下，如何做到将信息技术合理应用到体育教学中，激发学生兴趣，开发教学资源，优化教学过程呢?笔者结合个人教学实际，谈谈自己的看法。
微纳电子技术最新期刊目录
光激发增强过渡金属二硫化物气敏性能研究进展
摘要：气体传感器作为嗅觉传感的核心元件,可精准识别环境中气体的种类与浓度,在环境监测、食品安全、医疗健康等领域应用前景广阔。传统半导体气体传感器依赖高温驱动,存在能耗高、检测限偏高等问题。光激发通过引入光生载流子,协同促进氧分子与目标气体的表面反应及界面电荷转移,为提升气敏性能提供了有效途径。二维过渡金属二硫化物（TMD）因带隙可调、高比表面积和优异光电特性,是光激发气体传感器的重要候选材料。系统综述了...
谐振式MEMS电场传感器强电场干扰抑制闭环设计
摘要：针对谐振式微机电系统(MEMS)电场传感器在强交流电场测量过程中闭环检测的反馈信号易受待测电场自身干扰、易失锁问题，提出了一种适合大量程交流电场测量的传感器强电场干扰抑制闭环检测方法。通过设计一种具有抗强交流电场干扰的传感器屏蔽式封装结构，抑制外界交流电场对反馈信号的干扰，同时采用闭环控制电路实时采集反馈信号实现闭环驱动调制，稳定控制传感器振幅，提高了电场测量的稳定性与抗干扰能力。实验结果表明，采...
基于半包围栅U沟道可重置肖特基二极管的同或逻辑门研究
摘要：基于半包围栅U沟道可重置肖特基二极管（SSG-U-RSD）的单器件同或逻辑门结构在开关特性以及逻辑运算中表现出巨大优势。这一新型器件采用金属Ni作为源、漏电极，与无掺杂硅沟道接触形成肖特基势垒，同时U沟道在垂直方向上延长载流子流通的有效路径，能够在不改变水平沟道器件尺寸的基础上获得更低的亚阈值摆幅（SS）以及更高的电流开关比(ION/IOFF)。经过仿真...
微小焊盘键合工艺故障分析与参数优化
摘要：针对放大器小焊盘键合参数调试中出现的键合不上的问题，依据键合工艺规范，结合25μm金丝键合工艺要求展开系统分析。通过金相显微镜观测，明确核心成因：接线柱键合界面凹凸不平及近壁键合工装长期使用，导致劈刀受力不均、头部缺损，进而引发键合点成型缺陷。基于此，提出键合参数调整方案与设备维护策略，优化超声压力、超声功率等关键参数，建立劈刀状态检测机制。验证结果显示，优化后键合良率达100%,平均键合拉力提升...
关键尺寸扫描电子显微镜校准纳米参考样片制备及性能评价
摘要：针对先进半导体工艺中关键尺寸扫描电子显微镜(CDSEM)商用标准样片成本高、迭代周期长的问题，设计并制备了100 nm周期纳米光栅参考样片。样片采用电子束曝光(EBL)与等离子体刻蚀工艺制备，结构区域面积为500μm×500μm,包含X/Y双方向条形光栅(占空比1∶1),优化了X/Y方向布局设计以适配CDSEM快速双向测量。通过聚焦离子束-扫描电子显微镜(FIB-SEM)、透射电子显微镜(TEM)...
第二十届中国半导体行业协会半导体分立器件年会暨2026年先进封装技术创新与产业链协同发展论坛会议通知
摘要：<正>~
纸基微流控芯片设计及蛋白质含量测定研究
摘要：蛋白质定量分析在食品安全领域应用广泛，传统实验室方法依赖大型设备且操作繁琐，而纸基微流控芯片检测具有低成本、便携的特点。采用蜡打印技术构建雪花形状的纸基微流控芯片，通过毛细作用自动输送液体至检测区域，以溴酚蓝为显色探针，在固定光源与拍摄条件下采集芯片图像，通过图像处理软件提取检测区域图像灰度值，建立灰度-蛋白质质量浓度定量模型，实现蛋白质含量快速检测。结果显示芯片检测限(LOD)为7.7μg/mL...
基于YOLO算法的HUVEC微流控检测系统
摘要：针对传统显微镜下脐静脉内皮细胞(HUVEC)人工计数方法存在效率低、主观性强等问题，设计了一套集成化、自动化的细胞检测系统以解决以上问题。该检测系统硬件平台集成自主研制的注射泵、微流控芯片、显微成像模块与上位机控制程序，软件核心采用YOLOv13n深度学习算法开发并用于HUVEC的实时识别与计数。实验结果表明，该检测系统对HUVEC的识别准确率(mAP@0.5)可达0.852,推理速度达27.5 ...
菱方相Hf0.5Zr0.5O2与IGZO集成及其非易失薄膜晶体管
摘要：针对传统基于正交相氧化铪的铁电存储器存在工作电压高、耐久性不足的问题,提出了一种将亚稳菱方相Hf0.5Zr0.5O2与铟镓锌氧化物（IGZO）沟道全氧化物集成的方案。通过优化磁控溅射沉积与快速热退火工艺,确定了制备菱方相Hf0.5Zr0.5O2铁电薄膜的最佳工艺窗口。...
二氧化钛薄膜真空制备工艺、微观动力学机制及前沿应用研究进展
摘要：二氧化钛(TiO2)凭借其卓越的光学折射率、化学稳定性及半导体特性,已成为现代光电子、精密光学及能源转换领域的核心材料。系统综述了磁控溅射（MS）、高功率脉冲磁控溅射（Hi PMSI ）、双极脉冲高功率磁控溅射（BPH）、原子层沉积（ALD）等二氧化钛薄膜的主流真空制备技术,深入剖析了制备过程中的靶中毒效应、自限制反应动力学及离子辅助致密化等关键物理现象。重点强化了制备参数对...
基于MEMS水听器的混沌粒子群优化侧扫声呐图像增强与目标智能识别
摘要：针对当前侧扫声呐图像对比度低,导致目标识别精度受限问题,提出了一种基于微电子机械系统(MEMS)水听器的混沌粒子群优化侧扫声呐图像增强与目标智能识别方法。利用MEMS水听器实时感知并补偿平台运动姿态,校正几何失真。应用融合混沌映射思想的改进粒子群优化算法,对增强系数进行优化调整,从而实现图像的自适应增强。对增强后的侧扫声呐图像进行Radon变换,获取原始图像对应的全向投影特征图。构建基于卷积神经网...
基于熔融合金电流体喷印的多层电路空间互连导线制备研究
摘要：空间互连导线是多层电路器件的关键组成部分，有助于在单位面积内集成多类型元器件。其常规制备方法，如软光刻、转印等存在工艺复杂、成本昂贵的问题。提出了一种气压辅助熔融合金电流体喷印的方法，使用低熔点合金作为空间互连导线的材料，快速制备多层电子器件。首先，阐述了该工艺的基本原理及验证方法，研究了脉冲峰值电压(U)、打印速度(v)、气压(p)对喷印线宽的影响，同时研究了垂直立柱和弧形导线可控制备的工艺规律...
高性能4H-SiC双结二极管温度传感器设计与实现
摘要：针对高温能源领域对高性能测温元件的需求，研究并制备了一种基于4H-SiC双结(同时包含p-n结与肖特基结)二极管的新型温度传感器。该传感器利用4H-SiC宽禁带半导体的高热稳定性，通过双结串联结构在恒定电流偏置下正向电压随温度的线性响应实现测温。在298～573 K的温度范围内，该传感器展现出优异的性能指标：在1 nA低电流偏置下，其最大灵敏度可达4.53 mV/℃,线性度高达99.986%;在1...
MEMS真空度传感器结构与性能演进综述
摘要：随着高端制造装备与微系统集成技术的快速发展，真空度传感器已普遍实现微机电系统(MEMS)芯片化，其尺寸微缩不再是主要瓶颈。当前研究重点正逐步转向：在芯片尺度受限条件下，如何通过敏感结构设计与集成方式创新，持续提升真空检测性能。由于不同真空压力区间内气体流动状态与主导物理机制显著不同，使得机械应变、谐振、热传导及电离等检测原理在传感器MEMS化后面临差异化的性能约束与结构挑战。围绕MEMS真空度传感...
线接触电容式压力敏感芯片设计
摘要：与压阻式传感器相比，微机电系统(MEMS)电容式压力传感器具有精度和灵敏度高的优势，但其响应特性存在较大非线性的弱点。虽然接触电容式压力敏感结构对此有所改善，但却带来严重的迟滞问题。为此，基于线接触电容式压力敏感结构，对电容式压力敏感芯片进行了设计。利用这种线接触结构使其极板接触面积趋近于零，从而可使接触式传感器超常的迟滞得到大幅降低，同时还显著扩大了其线性响应范围。仿真结果表明，所设计量程为15...
Li2CO3掺杂量对β″-Al2O3性能的影响及与铝阳极键合研究
摘要：采用聚乙烯吡咯烷酮（PVP）溶胶-凝胶法，以Li2CO3为稳定剂制备β″-Al2O3固体电解质，并将其作为阳极键合的阴极材料，通过调节Li2CO3掺杂量，探究掺杂量对β″-Al2O3性能的影响。X射线衍射（XRD）表征表明，...
P2型Na0.67Fe0.5Mn0.5O2钠离子电池正极材料的制备与电化学性能
摘要：P2型Na0.67Fe0.5Mn0.5O2正极材料具有较高的理论比容量和较低的成本，是一种很有前途的储能材料。通过溶胶-凝胶法制备了不同煅烧温度（800、850、900、950℃）的Na0.67Fe0.5Mn0.5O2材料。...
微透镜阵列光场成像在立体视觉领域的研究进展
摘要：近年来，微纳制造技术的迅速发展使得多种视觉识别需求的实现成为可能。为了应对日益多样化的应用需要，基于微透镜阵列的视觉识别系统改进已成为该领域一个重要的发展方向。针对这些改良和改良效果，从硬件结构改良与软件算法改良两个大方向进行分析与总结。首先，在硬件结构改良中，主要对以角坐标获取、以空间坐标获取和以清晰图像获取为目的的优化进行归纳与总结。其次是软件算法改良，归纳与总结了通过针对静物识别清晰图像获取...
MgO掺杂BaTiO3基陶瓷的介电性能研究
摘要：采用传统固相合成法制备了BaTiO3-xMgO-MnO-Dy2O3-Al2O3-SiO2（摩尔分数x=0%～1.6%）陶瓷，并且在不同烧结温度（1 160、1 180、1 200℃）下，用体积分数分别为0.1%H2/99.9%N2 复合电沉积法制备Ni-Co/SiCw复合材料及其性能研究 摘要：针对微机械器件对高性能复合材料的需求,采用复合电沉积法制备具有优良力学性能的碳化硅晶须增强镍钴（Ni-Co/SiCw）复合材料。首先确定本实验中Ni-Co合金沉积的最佳基准条件,进而系统研究了电流密度、镀液温度及搅拌速度对Ni-Co/SiCw复合材料微观形貌演变的影响规律。结果表明,制备Ni-Co/SiCw复合材料的最优工艺参数为:电流密度10 mA/c... 相关电子信息期刊推荐 核心期刊推荐
