真空

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《真空》 关注(): 期刊周期：双月刊; 期刊级别：北大核心; 国内统一刊号：21-1174/TB; 国际标准刊号：1002-0322; 主办单位：中国机械工业集团公司;沈阳真空技术研究所; 主管单位：中国机械工业集团公司;沈阳真空技术研究所; 上一本期杂志：《测绘工程》测绘工程师论文; 下一本期杂志：《四川环境》杂志目录参考

　　【杂志简介】

　　《真空》杂志是中国真空界主要杂志之一。自1994年真空杂志转换经营机制以来，由我国真空企业界实力雄厚的厂家与杂志社联办成立董事会，并由真空学术界著名学者组成编委会。社会效益与经济效益与日俱增，在国内真空界享有盛誉。自1989年公开发行以来，被美国、英国、德国、日本、意大利、韩国以及港澳地区越来越多的海外学者所关注。

　　真空杂志系国家级刊物，首批列入我国“中文核心期刊要目总览”中工业技术类核心期刊，在此类30种期中排列第八名。同时列为“中国科技论文统计与分析”首批统计刊源。近年又首批入编“中国学术期刊光盘版”。由于本刊特色。30多年来在我国真空界享有盛名，颇受广大读者欢迎。为我国真空业界首选技术刊物。发行全国24个省市、自治区，并与境内外多种刊物交换收存。

　　【收录情况】

　　国家新闻出版总署收录　获奖情况

　　工程技术类核心期刊

　　中国期刊网、光盘国家工程中心用刊

　　国外数据库收录

　　美国化学文摘

　　【栏目设置】

　　主要栏目：学术论文、新产品开发、实验技术、系列讲座、综合评述、设计与工艺、经验介绍、市场预测、产品广告、知名厂商、设备维护、知识问答等。

　　杂志优秀目录参考：

　　中国散裂中子源(CSNS)真空系统研制董海义，宋洪，李琦，杨奇，赵晶晶，黄涛，王鹏程，关玉慧，刘鹏飞，刘佳明，DONG Hai-yi，SONG Hong，LI Qi，YANG Qi，ZHAO Jing-jing，HUANG Tao，WANG Peng-cheng，GUAN Yu-hui，LIU Peng-fei，LIU Jia-ming

　　动态相对法真空标准装置简介国家真空设备质量监督检验中心

　　EAST高频弹丸注入装置真空系统设计姚星佳，胡建生，李长征，陈跃，YAO Xing-jia，HU Jian-sheng，LI Chang-zheng，CHEN Yue

　　基于Visual Basic的真空系统计算软件开发王莉君，罗阳，华海宇，WANG Li-jun，LUO Yang，HUA Hai-yu

　　太空旅游燃热点科普教育新突破--510所《载人航天与太空旅游》正式出版沈阳真空杂志社

　　浮动式涡旋干泵的结构设计与特点倪诗茂，NI Shi-mao

　　AVS上海薄膜会议

　　基于分子蒸馏原理的金属铯提纯实验系统研制马寅光，李得天，陈江，王骥，黄良育，成大鹏，刘苏民，MA Yin-guang，LI De-tian，CHEN Jiang，WANG Ji，HUANG Liang-yu，CHENG Da-peng，LIU Su-min

　　中国知网与真空杂志社联合声明中国知网、真空杂志社

　　真空喷射雾化过程中喷嘴口的流动模型计算与数值分析韩宇，李建昌，HAN Yu，LI Jian-chang

　　大口径低温泵之制冷机R65的研制熊鹰，杜建伟，徐海波，王为民，XIONG Ying，DU Jian-wei，XU Hai-bo，WANG Wei-min

　　真空自耗电弧炉恒熔速控制系统改造王勃，陈鼎，孙足来，WANG Bo，CHEN Ding，SUN Zu-lai

　　多晶硅铸锭炉扩容后的安全性分析及安全措施研究周社柱，王锋，张桂芸，王成君，冯宏亮，ZHOU She-zhu，WANG Feng，ZHANG Gui-yun，WANG Cheng-jun，FENG Hong-liang

　　中国农机化投稿：机械电气设备故障的应急处理

　　摘要：现代工程的进行离不开机械电气设备，电气设备在数年来的发展下愈加机械化与电气化，极大地提高了工程效率。然而，机械电气设备在愈加智能化、自动化的同时会出现许多故障，这些故障或多或少地影响到工程的正常进行，引起一定的经济损失。为了避免因设备故障影响工程实施，相关工作人员必须针对设备故障进行应急处理。该文试探讨工程中机械电气设备的常见故障，包括开关故障、转子回路的短路故障、启动电抗器的接地故障，以及分别对应的应急处理措施。

　　关键词：工程机械,电气设备,设备故障,故障应急处理

　　机械电气设备的功能随着科学技术的提高具有越来越高的科技含量，对于企业的生产具有极为重要的意义。然而，或因设备本身设计的缺陷、制造过程中的不足，或因外部环境恶劣、人员操作不当，机械电气设备会出现影响到设备正常运行的故障，常规维修固然可以最好地保证设备功能正常，但是会耗费较长的时间，企业无法接受停工造成的经济损失，为此，必须要有应急措施来处理设备故障。

　　真空最新期刊目录

掩模基板镀膜工艺对铬膜与玻璃基底之间黏附力的影响————作者：李翼;李伟;徐根;杨旭;

摘要：为提高掩模基板铬膜层与玻璃基底之间的黏附力，在Q6025石英玻璃基板上采用磁控溅射研究了基底温度、溅射气氛和退火处理对膜基黏附力的影响。镀制三层铸膜用两种黏附力监控方法，用SEM对不同玻璃基底温度以及混合气氛下溅射得到的铬膜层进行了表征和微观形貌分析。研究结果表明：将玻璃基底加热到160℃能有效提升铬膜层与玻璃基底之间的黏附力。混合气氛下制备的铬膜层微观结构由50～60 nm的纯铬大颗粒和10～2...

线圈尺寸和布局对12寸碳化硅单晶生长感应炉温度场的影响研究————作者：丘荣生;李建昌;

摘要：大尺寸碳化硅（SiC）单晶是制备高质量功率器件和射频器件的关键，其主流生长方法为物理气相输运，而生长腔温度场直接影响其生长速率和质量。本文对12寸SiC单晶生长真空感应炉炉内温度场进行数值仿真，研究了感应线圈尺寸和布局参数对温度场的影响。结果表明：降低线圈位置或减小线圈与坩埚高度比，可减小籽晶的径向温度梯度，增加生长腔轴向温度梯度，从而改善晶体质量，并提高晶体生长速率；相比于0 mm的线圈位置，当...

电子束熔炼炉射线屏蔽的设计与计算————作者：牟鑫;马强;马海玲;高元;刘长青;葛家希;李心可;

摘要：电子枪是电子束熔炼炉的核心部件之一，其工作时会在熔炼室内产生大量X射线。熔炼室壁是简单且可有效屏蔽辐射的唯一屏障。为保证人员安全并满足国家相关标准要求，结合理论计算与几何结构分析，从炉壁板厚、内外板焊缝搭接形式、炉门缝隙拼接结构、观察窗铅玻璃厚度等角度对熔炼室进行了射线屏蔽设计，并通过现场测量对熔炼室的射线屏蔽效果进行了测试。结果表明，炉外人员可达区域辐射剂量率与环境本底相当，熔炼室可有效屏蔽X射...

退火工艺对一种超级铁素体不锈钢管材TCP相析出的影响————作者：孟涛;郑世豪;刘恩泽;谭政;宁礼奎;

摘要：以冷轧态29Cr-4Mo-TiNb超级铁素体不锈钢冷轧管材为对象，通过光学显微镜（OM）、扫描电镜（SEM）及能谱分析（EDS）等方法，系统研究了退火工艺对该钢种冷轧管材微观组织中TCP相析出规律的影响。结果表明，29Cr-4Mo-TiNb钢中夹杂物主要为复合型Al2O3·TiN·Nb(C,N)；在850～950℃温度区间，保温2 min后管材中便有Laves相析出，先析出的Laves相促进了后析...

热等静压炉耐压试验升压时间的计算————作者：李忠仁;杨洪帅;王颖;宋家兴;马源辰;张旺;顾玉刚;

摘要：热等静压炉作为一种高温超高压设备，其介质存储有高爆炸当量的能量，做好安全控制尤为重要。为便于指导和实施耐压试验，本文介绍了设备承压部件在耐压试验中的受力特点及介质压缩特性，以HIP1025型热等静压炉为例，对耐压试验的升压时间进行了计算，给出了缩短升压时间、降低操作风险的可行办法，并编制了工程计算软件，为超高压容器实现耐压试验的参数化、自动化和数字化管理提供了工具

真空熔炼ZTA15钛合金铸件打压泄漏失效分析————作者：刘义辉;贾国成;王卫超;麻毅;乔海滨;战春鸣;

摘要：某航天领域关键ZTA15钛合金箱体经真空熔炼浇铸及真空热处理工艺处理制备而成。然而，其在组装后的打压测试中频繁出现侧壁泄漏问题。为深入探究失效原因，本研究采用故障树分析法系统性地排查潜在原因，成功精准定位了问题根源。在此基础上，结合理化测试手段对失效机理进行了剖析，验证了定位结果的准确性。通过故障复现实验将研究结果推广至类似情境，为相关行业提供参考。基于上述综合研究，提出了一套针对性的整改方案，有...

大型超导线圈热处理系统温度均匀性研究————作者：陈博龙;李忠仁;王颖;吴逸飞;苏宁;宋家兴;车恩林;刘君;

摘要：针对大型超导线圈在热处理过程中，必须在大尺寸空间和长时间范围内保证炉腔内部温度均匀性的要求，采用1/18炉腔模型对加热系统内部的温度场分布和流场状态进行热流固多场耦合有限元分析，并结合分析结果进行原型搭建，对实际工况下的加热系统温度场进行了数据采集和分析。结果表明：仿真模型中超导线圈在210℃升温工况下的均温性在±25℃之内，保温工况下的均温性在±5℃之内，满足均温性要求；试验数据和仿真数据结果一...

氢化脱氢制备锆-2粉末过程的工艺安全分析————作者：王振宏;王本龙;车恩林;苏宁;刘君;

摘要：氢化脱氢工艺属常见的化学反应方式，通过相关化合物内的氧化物与氢原子发生化学反应，实现氢气的去除或添加，进而改变化合物内部构成。本文详细分析了氢化脱氢制备锆-2粉末的工艺设计流程，全面探究其用途与使用背景。通过氢化、粗破碎与细破碎、脱氢、二次粗破碎与细破碎、钝化与分离等步骤探索该工艺技术操作的安全性，明确其操作范围，充分发挥该工艺优势，极大提升工艺制备效果，满足化合物性质调整需求

超薄柔性基材真空双面磁控溅射卷绕镀铜关键技术研究————作者：罗军文;

摘要：详细介绍了超薄柔性基材真空双面磁控溅射卷绕镀铜设备的工作原理、结构组成和关键技术设计要点，分析了影响镀膜质量与生产效益的主要因素，重点论述了超薄基材镀膜技术难点和解决方案。通过优化卷绕系统辊系布局和磁控溅射系统结构，以及在镀膜辊面增加绝缘陶瓷层，有效解决了薄膜热损伤问题。该优化方法有利于提升新能源锂电池复合铜箔材料的品质和生产效率，加速新能源锂电池复合集流体负极材料的批量化生产

大型金属密封真空炉的研制和温度均匀性测量————作者：唐榕;关杰;卢少波;李润霞;韩永超;

摘要：真空电子器件作为通信装备的核心器件，在国防尖端技术和空间通信等领域发挥着至关重要的作用。近年来，太赫兹等新技术的快速发展对真空电子器件的性能提出了更高的要求，亟需更新换代，这促使高指标、高可靠性和长寿命工艺设备的需求量日益增长。超高真空炉作为此类工艺中的关键设备之一，可在洁净高真空环境下进行热处理和焊接作业等，实现材料脱气、净化和永久连接。其核心性能主要体现在高极限真空度的获取、炉内温度的均匀分布...

真空碳管炉参比样本法热导率测量与稳定性分析————作者：战春鸣;王立刚;范昌龙;张丕显;王杰;鄂东梅;王玲玲;乔忠路;刘诗梦;宋青竹;

摘要：基于参比样品法原理，创新设计了一套材料有效热导率测量装置，并深入评估了其工作稳定性。首先利用碳纤维毡验证测量装置的稳定性，然后测试不锈钢、铜及石墨在不同条件下的热导率，并与理论值进行了对比分析，最后针对碳纤维毡材料，系统研究了温度、环境气氛及树脂含量对其热导率的影响。结果表明：该装置在0～700℃区间对不锈钢与铜材料的热导率测量准确性较高，但不适用于石墨材料；随温度与树脂含量上升，碳纤维毡的热导率...

浮空器囊体材料连接可靠性评估方法————作者：董莉;姚芮;

摘要：囊体材料的连接可靠性对浮空器的稳定运行具有重要影响，为保证囊体材料片幅连接后的可靠性，选取不同热合参数对两种面密度不同的囊体材料及配套热合布进行了热合试验。在热合剥离强度满足指标要求的前提下，通过高温蠕变试验进一步对热合部位进行了性能评估。结果表明：随着热合时间延长，囊体材料的热合剥离强度逐渐增加；面密度较高的囊体材料拉伸强度和剥离强度均较高；剥离强度满足指标的热合样件在高温蠕变试验后也可能出现脱...

第十七届国际真空科学与工程应用学术会议（VSEA-17）会议征稿通知

摘要：<正>第十七届国际真空科学与工程应用学术会议（VSEA-17），将于2025年8月8～10日在沈阳东北大学隆重召开。其前身为国际真空冶金与表面工程学术会议，是真空科技领域的重要系列学术会议，由东北大学、中国真空学会下属的多个分支委员会（真空冶金专业委员会、真空工程专业委员会、真空咨询工作委员会等）、真空技术与物理全国重点实验室、真空技术装备国家工程研究中心等联合举办，每两年召开一次。参...

东北大学第二十一期《真空技术》能力提升研讨会通知

摘要：<正>东北大学将于2025年8月3日～8日举办第二十一期《真空技术》能力提升研讨会，第二十一期《真空技术》能力提升研讨会将由中国真空学会真空冶金专业委员会、真空工程专业委员会和真空咨询工作委员会等诸多学术团体联合主办，更具权威性和影响力；同时，将对会议内容做进一步改革，使会议更贴近用人需要和工程实际。自1958年创办全国第一个真空技术及设备本科专业以来，东大真空现已成为全国唯一的具备本...

第二十三讲离子注入与离子辅助沉积技术————作者：张以忱;

摘要：<正>3.7液态金属离子源（LMIS离子源）液态金属离子源（LMIS离子源）是一种高亮度、小束斑的离子源。其离子束经聚焦后，可形成纳米量级的小束斑离子束，被应用于离子注入、离子束曝光、离子束刻蚀等领域。LMIS离子源有针形（见图17(a)）、同轴形和毛细管形等三种类型。LMIS离子源对液态金属的要求包括：（1）与容器和钨针不发生任何反应；（2）能与钨针充分均匀地浸润；（3）具有低熔点低...

控制镧热还原制备镱原子蒸气密度的工艺研究————作者：胡林松;金策;

摘要：目前，工业上应用镧热还原法制备镱的反应温度一般设置为1200 ℃左右，该温度下金属镱的收率和纯度很高，但还原反应十分剧烈，而一些特定工业领域对反应产物的原子蒸气密度提出了严格要求。针对该问题，本文以高纯氧化镱和镧屑为原料，对镧热还原制备镱的工艺和还原反应热力学进行分析，研究了还原反应温度和还原剂过量比对金属镱原子蒸气密度的影响规律。结果表明：650 ℃下存在微量还原反应；700～800 ℃镱原子蒸...

Sc₂O₃- Y₂O₃- ZrO₂热障涂层陶瓷材料的微观结构及力学性能————作者：郭毛毛;谢敏;王志刚;牟仁德;宋希文;张永和;

摘要：为提高传统YSZ热障涂层的综合性能，采用多元稀土氧化物掺杂对其进行改性，利用固相法合成了不同Sc₂O₃、Y₂O₃配比（总摩尔分数为8%）的Sc₂O₃-Y₂O₃-ZrO₂（ScYSZ体系）陶瓷材料，测试分...

工业加速器用C波段小型化高功率多注速调管————作者：卫博;李冬凤;王加松;李闯;王刚;

摘要：小型化高功率多注速调管是无损检测、医疗及工业辐照用电子直线加速器的理想功率源。本文简要介绍了北京真空电子技术研究所研制的一款新型C波段3MW小型化高功率多注速调管，对其采用的同轴多注谐振腔、周期反转永磁聚焦系统以及大尺寸盒形输能窗等技术进行了说明。器件测试结果表明，其峰值输出功率大于3.3MW，平均功率大于6.6kW，质量轻于25kg，可满足工业加速器的使用要求，在此基础上可形成输出功率满足1～5...

射频等离子体去胶及表面清洗工艺技术研究————作者：田文娟;贺晓彬;焦斌斌;

摘要：简要介绍了等离子去胶和清洗的化学、物理变化过程；系统分析了决定去胶效果和去胶均匀性的因素，并给出了相应的方案和最优参数匹配原理，通过实验研究了不同工艺条件下微米级及纳米级Ar-F光刻胶的最优去除工艺参数；探讨了等离子体清洗反应原理、工艺过程，以及等离子体清洗在材料表面改性方面的应用

新型材料瓷砖粘合剂真空稳定状态下制备与性能研究————作者：卢国享;王中荔;

摘要：为确保瓷砖粘合剂制备过程中的稳定性并优化其粘接性能，研究了结合真空技术的新型材料瓷砖粘合剂的制备方法与性能。根据标准瓷砖尺寸制备瓷砖粘合的混凝土表面试块，并根据室内装饰施工场景为其涂刷防水材料。对邻苯二甲酸氢钾和甲苯二异氰酸酯进行真空合成，制备瓷砖粘合剂预聚物。通过迈克尔加成反应使粘合剂预聚物改性，降低其生物毒性。利用真空干燥箱对改性粘合剂预聚物进行干燥处理，调控干燥过程，获得粘合剂初产物。利用真...

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