真空

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真空 关注(): 期刊周期：双月刊; 期刊级别：北大核心; 国内统一刊号：21-1174/TB; 国际标准刊号：1002-0322; 主办单位：中国机械工业集团公司;沈阳真空技术研究所; 主管单位：中国机械工业集团公司;沈阳真空技术研究所; 上一本期杂志：《测绘工程》测绘工程师论文; 下一本期杂志：《四川环境》杂志目录参考

　　【杂志简介】

　　《真空》杂志是中国真空界主要杂志之一。自1994年真空杂志转换经营机制以来，由我国真空企业界实力雄厚的厂家与杂志社联办成立董事会，并由真空学术界著名学者组成编委会。社会效益与经济效益与日俱增，在国内真空界享有盛誉。自1989年公开发行以来，被美国、英国、德国、日本、意大利、韩国以及港澳地区越来越多的海外学者所关注。

　　真空杂志系国家级刊物，首批列入我国“中文核心期刊要目总览”中工业技术类核心期刊，在此类30种期中排列第八名。同时列为“中国科技论文统计与分析”首批统计刊源。近年又首批入编“中国学术期刊光盘版”。由于本刊特色。30多年来在我国真空界享有盛名，颇受广大读者欢迎。为我国真空业界首选技术刊物。发行全国24个省市、自治区，并与境内外多种刊物交换收存。

　　【收录情况】

　　国家新闻出版总署收录　获奖情况

　　工程技术类核心期刊

　　中国期刊网、光盘国家工程中心用刊

　　国外数据库收录

　　美国化学文摘

　　【栏目设置】

　　主要栏目：学术论文、新产品开发、实验技术、系列讲座、综合评述、设计与工艺、经验介绍、市场预测、产品广告、知名厂商、设备维护、知识问答等。

　　杂志优秀目录参考：

　　中国散裂中子源(CSNS)真空系统研制董海义，宋洪，李琦，杨奇，赵晶晶，黄涛，王鹏程，关玉慧，刘鹏飞，刘佳明，DONG Hai-yi，SONG Hong，LI Qi，YANG Qi，ZHAO Jing-jing，HUANG Tao，WANG Peng-cheng，GUAN Yu-hui，LIU Peng-fei，LIU Jia-ming

　　动态相对法真空标准装置简介国家真空设备质量监督检验中心

　　EAST高频弹丸注入装置真空系统设计姚星佳，胡建生，李长征，陈跃，YAO Xing-jia，HU Jian-sheng，LI Chang-zheng，CHEN Yue

　　基于Visual Basic的真空系统计算软件开发王莉君，罗阳，华海宇，WANG Li-jun，LUO Yang，HUA Hai-yu

　　太空旅游燃热点科普教育新突破--510所《载人航天与太空旅游》正式出版沈阳真空杂志社

　　浮动式涡旋干泵的结构设计与特点倪诗茂，NI Shi-mao

　　AVS上海薄膜会议

　　基于分子蒸馏原理的金属铯提纯实验系统研制马寅光，李得天，陈江，王骥，黄良育，成大鹏，刘苏民，MA Yin-guang，LI De-tian，CHEN Jiang，WANG Ji，HUANG Liang-yu，CHENG Da-peng，LIU Su-min

　　中国知网与真空杂志社联合声明中国知网、真空杂志社

　　真空喷射雾化过程中喷嘴口的流动模型计算与数值分析韩宇，李建昌，HAN Yu，LI Jian-chang

　　大口径低温泵之制冷机R65的研制熊鹰，杜建伟，徐海波，王为民，XIONG Ying，DU Jian-wei，XU Hai-bo，WANG Wei-min

　　真空自耗电弧炉恒熔速控制系统改造王勃，陈鼎，孙足来，WANG Bo，CHEN Ding，SUN Zu-lai

　　多晶硅铸锭炉扩容后的安全性分析及安全措施研究周社柱，王锋，张桂芸，王成君，冯宏亮，ZHOU She-zhu，WANG Feng，ZHANG Gui-yun，WANG Cheng-jun，FENG Hong-liang

　　中国农机化投稿：机械电气设备故障的应急处理

　　摘要：现代工程的进行离不开机械电气设备，电气设备在数年来的发展下愈加机械化与电气化，极大地提高了工程效率。然而，机械电气设备在愈加智能化、自动化的同时会出现许多故障，这些故障或多或少地影响到工程的正常进行，引起一定的经济损失。为了避免因设备故障影响工程实施，相关工作人员必须针对设备故障进行应急处理。该文试探讨工程中机械电气设备的常见故障，包括开关故障、转子回路的短路故障、启动电抗器的接地故障，以及分别对应的应急处理措施。

　　关键词：工程机械,电气设备,设备故障,故障应急处理

　　机械电气设备的功能随着科学技术的提高具有越来越高的科技含量，对于企业的生产具有极为重要的意义。然而，或因设备本身设计的缺陷、制造过程中的不足，或因外部环境恶劣、人员操作不当，机械电气设备会出现影响到设备正常运行的故障，常规维修固然可以最好地保证设备功能正常，但是会耗费较长的时间，企业无法接受停工造成的经济损失，为此，必须要有应急措施来处理设备故障。

　　真空最新期刊目录

LNOI沉积非晶硅薄膜起泡问题研究————作者：刘民;付刘成;乌李瑛;程秀兰;付学成;

摘要：刻蚀LNOI（绝缘体上铌酸锂）通常采用非晶硅薄膜作为掩膜；在使用PECVD设备在LNOI表面沉积非晶硅薄膜时，常出现薄膜起泡现象。气泡尺寸大多在5～60 μm之间，其存在会影响LNOI刻蚀的形貌。研究表明，非晶硅薄膜气泡可能是铌酸锂薄膜表面的缺陷导致的；这些缺陷表面的氧原子与非晶硅薄膜中的氢结合，破坏Si-H键，导致薄膜局部张应力增大，从而引起非晶硅薄膜起泡。通过对比实验发现，在沉积非晶硅薄膜之前...

基于Q值增强的高真空谐振腔实现肿瘤细胞铁死亡高灵敏实时监测————作者：郑开利;周赤忠;罗宽;孙帆;

摘要：为突破现有肿瘤细胞铁死亡监测技术实时性弱、侵入性强的瓶颈，构建融合高真空环境与压电谐振原理的非标记、非接触式动态监测路径。设计具备高Q值(>10⁴)的压电谐振器件，并搭建极限真空度达10^-4Pa的谐振传感系统，泄漏率低于10^-8Pa·m³/s。通过在肿瘤细胞模型中施加铁死亡诱导剂，实时采集谐振频率漂移...

基于NSGA-II算法的变螺距转子动平衡设计方法————作者：高龙;陈涛;宋栓军;许涛;

摘要：对干式螺杆真空泵变螺距转子的动平衡设计方法进行了研究，通过质量去除法在转子齿面设计两类五组减重孔，结合参数化建模技术和NSGA-II算法，成功得到了减重孔的最佳参数及布置角度，优化了质量分布。利用SolidWorks进行三维建模，并通过其API接口进行二次开发，借助Visual Studio开发窗体程序，实现建模与优化过程中的数据互通以及模型参数的自动化更新。结果表明，经过减重处理后，转子动平衡性...

高温液态锂与聚变堆结构材料润湿特性研究平台设计————作者：杨龙;孟献才;梁立振;闫振;李旭;张德皓;左桂忠;

摘要：液态锂在基底材料表面的润湿性是决定液态锂第一壁性能的关键因素之一。设计了一套液态金属与固体材料润湿特性研究平台，结合系统运行关键问题，采用ANSYS软件对平台检测室和注射系统等部件进行了热力学仿真和理论计算。结果表明：外径250 mm、壁厚3 mm的304不锈钢真空检测室在一个大气压下的最大变形量约为0.045 mm，最大应力强度为29.876 MPa，低于许用应力（137 MPa）；检测室最大等...

抽真空过程中水面蒸发及空气温湿度变化特性研究————作者：张治华;李晓林;杨嘉;钟佳贝;张朋磊;

摘要：对内部含水的真空舱抽真空过程中，低压下水面快速蒸发造成空气含湿量急剧增大，含湿量过大的稀薄空气进入真空泵并在升压过程中析出大量冷凝水，可能导致润滑油乳化进而损坏真空泵。因此，掌握抽真空过程中水面的蒸发特性以及空气温湿度变化特性至关重要。本文首先搭建了小型水面抽真空实验台，研究了不同抽气流量、水面面积下抽真空过程中空气温湿度变化规律，发现空气温度变化主要受抽气速率影响，空气含湿量变化主要受水面面积影...

用于空间微波器件的高可靠阴极热子组件————作者：刘燕文;尚新文;李昕昕;田宏;赵恒邦;

摘要：对空间微波器件阴极热子组件的可靠性进行了加速寿命试验。实验表明热子可靠性强烈依赖加电极性，当灯丝接电源负电压，阴极接正电压时，热子组件的寿命远高于反向接电方式。进一步的实验证明，热子短路和断路的原因主要是由于浸渍发射材料扩散进入热子组件绝缘层造成的。为此，在阴极基底与热子组件之间加一隔板隔开，既避免了热子的短路，也延长了阴极的寿命。为了提高阴极的热效率和耐冲击性能，采用钼钌合金焊料将阴极饼与支撑筒...

基于智能优化的模糊PID冻干机真空控制系统的研究————作者：邹洪武;贺成杰;郭成虎;鞠鹏;

摘要：传统冻干机真空系统具有非线性和时变性特点，常规PID控制算法难以满足其高精度真空控制要求。为提高冻干机真空控制性能，对冻干机真空系统进行了优化，设计出智能优化的模糊PID控制器，通过人工蜂群（ABC）算法优化调整模糊控制器的输入论域，同时根据阀控真空特性修正控制器输出量，有效抑制了系统的非线性和时变性影响，提高了真空控制的动态性能。实际测试表明，应用新系统后冻干机真空控制性能在调节时间、超调量和稳...

热等静压预应力容器缠绕钢丝优化及数值模拟————作者：马源辰;李忠仁;王颖;艾春江;宋家兴;张旺;胡永佳;

摘要：预应力缠绕钢丝目前广泛应用于热等静压设备等的承压容器部分，首先建立了变张力容器缠绕数值模型以及等张力台阶划分模型，然后利用数值分析软件和算法对台阶划分方式进行了优化，得出满足承载力的前提下节省钢丝砝码数量的最优解，最后通过建立容器的缠绕仿真模型，运用有限元分析验证了结果的准确性

石墨工装板厚度对碳化硅真空烧结炉温度场的影响————作者：周明旭;李建昌;

摘要：温度均匀性是真空烧结炉的核心性能指标之一，直接影响工件烧结质量。本文通过对真空烧结炉温度场的数值模拟，研究了石墨工装板厚度对炉内温度均匀性的影响。结果表明：下支撑板厚度对温度均匀性影响最大，盖板次之，而侧板影响微弱；优化后的石墨工装板参数为下板厚50 mm，盖板厚20 mm，侧板厚60 mm；相较于原始方案，优化后工件间的最大温差减小19.1℃，即减小了10.7%。本研究可供真空烧结炉的工装设计与...

双真空特殊钢纯净度控制研究————作者：岑彦超;安杰;孙勇;张军;陆星宇;刘宏伟;类承帅;

摘要：钢铁行业绿色低碳生产是实现“双碳”目标的重要保障，推进特殊钢双真空熔炼（VIM+VAR）工艺向绿色低碳发展已成为新的研究方向。本文以电炉铁基材料以及电解铁为原材料，开展真空熔炼过程中不同含碳量的特殊钢氧含量变化规律及高Cr合金钢脱氮动力学研究，通过真空脱氧、脱氮以及脱硫控制，开发低耗碳、低氧高纯净度双真空特殊钢冶炼工艺。结果表明：双真空特殊钢制备工艺能够显著降低碳排放，推动双真空特殊钢向绿色低碳发...

真空蒸馏炉在新能源汽车锂离子电池负极材料中的应用————作者：陈鼎;马海玲;李京;邢旺;莫凡;

摘要：随着新能源汽车市场的蓬勃发展，锂离子电池作为核心动力源，其性能提升成为关键。真空蒸馏炉在新型锂离子电池负极材料制备中展现出显著优势。本文通过分析锂离子电池负极材料面临的挑战，阐述了真空蒸馏炉的技术原理与优势，详细介绍了高温蒸发系统、过渡区温度控制、旋转冷却恒温收集系统以及真空度维持等关键技术。结果表明，真空蒸馏炉能够高效制备高品质的氧化亚硅（SiO）负极材料，显著提升材料性能一致性，增强锂离子电池...

基于多参数反馈的真空灭弧室集成设备RPA控制引擎设计与动态灭弧优化研究————作者：孙旭;胡锦涛;程铁军;

摘要：为提高真空灭弧室集成设备在极端工况下的运行可靠性，提出一种基于多参数反馈的实时过程自动化（RPA）控制引擎与磁吹-气吹复合灭弧策略。通过构建真空度动态阈值分级模型、泄漏率卡尔曼滤波补偿算法及触头烧蚀量光谱反演方法，建立多物理量闭环反馈机制；设计模糊PID与深度强化学习双模协同控制架构，实现分合闸过程毫秒级精准调控；结合磁场梯度聚焦与脉冲气流时序匹配，形成电弧能量多路径耗散模式。实验表明，该方法将真...

真空辅助钢管混凝土拱桥自振特性及地震响应分析————作者：陈强;张伟;党涛;晋洋涛;曹学平;

摘要：研究了真空辅助技术在钢管混凝土拱桥中的应用效果，结合某工程真空辅助钢管混凝土拱桥建设参数，利用有限元分析和实验测试，对拱桥的自振频率、振型以及地震响应进行了全面评估。结果表明：拱桥的矢跨比、内倾角均与自振频率呈现正相关，矢跨比为1/5、外拱内倾角为14°条件下自振频率增幅分别约为6.6%和38.5%；在地震波作用下，拱桥在X方向上的响应更为明显，在抗震设计时，应更加注重X方向的抗震性能；在真空辅助...

基于深度学习的真空镀膜生产缺陷检测方法研究————作者：倪俊;郭腾;李灿伦;侯凯霖;李荣义;

摘要：柔性热控薄膜的热辐射性能是影响航天器表面热平衡控制的关键。在真空磁控溅射过程中，由于设备实时工艺波动，薄膜可能会出现多种缺陷。为保证镀膜生产质量与效率，针对传统人工缺陷检测方法依赖经验、效率低、劳动强度大、精度低和实时性差等问题，提出了一种基于高效自适应卷积和通道-空间金字塔池化的镀膜缺陷检测方法，详细介绍了模型各关键模块的优化设计方法。结果表明，该方法可自主学习建模潜在分布的多层表征，通过深层神...

复杂电磁环境下电子束轨迹控制可靠性技术研究————作者：刘明远;王绪磊;游云龙;

摘要：针对电子束磁场控制电源在复杂电磁环境并伴随电子枪打火条件下可能存在的电磁兼容性问题，基于FPGA技术高速采集磁场控制电源信号，搭建模拟测试平台，确定了影响磁场控制电源的典型干扰源形式，并测试了各干扰源的强度和频率范围。在磁场控制电源输出端和控制电路中设计滤波电路抑制外部环境干扰。通过MOSFET加电阻串并联组合瞬态分压的方式，瞬时吸收电子枪的打火能量。验证结果表明优化后的电子束轨迹控制系统可有效屏...

正压漏孔校准装置体积系数测试分析————作者：杨春节;万宇鹏;高晓迪;张海锭;

摘要：采用体积补偿法正压漏孔校准装置校准正压漏孔，体积系数的准确测量是关键。为了提升体积系数的测量准确度，本文在无漏孔和有漏孔两种情况下研究了体积系数与差压的关系，测试了同一可调漏率漏孔在不同漏率下体积系数的一致性。对测试结果进行理论分析后，通过制作模拟接头和修正ΔP的方法进行体积系数修正，最后测试了定值漏孔的体积系数稳定性。结果表明，修正后的体积系数测试准确性和稳定性明显改善，两种修正方法的一致性小于...

双螺杆真空泵直线型转子研究————作者：王建国;陈成权;陈灵丹;李金建;张宝夫;

摘要：提出了一种螺杆真空泵直线型转子型线设计方法，给出了型线方程和针对LG70型螺杆真空泵转子型线的主要结构参数；对新型螺杆真空泵进行加工分析，优化了加工方式；基于该转子型线进行了实际产品生产，并与原摆线型转子螺杆泵的抽速等性能指标进行了对比。结果表明：新设计的直线型转子型线具有容积效率高、加工方便、定位准确的特点，与摆线型转子螺杆泵相比抽气效率和加工效率均得到了提高

真空设备风冷换热系统结构的仿真优化————作者：刘昱辰;贾守亚;张鹏泽;

摘要：结合真空设备的发展趋势明确了设备风冷换热系统的发展方向为提高换热效率以及增加排污功能等。基于此，本文通过仿真计算对风冷换热系统的进风管道和换热器风机连接管道进行结构优化，通过控制流量计算不同管道结构对风冷换热系统出风的影响，并对比分析了管道外壁面温度及出口风速等参数。结果表明：与传统直角弯管相比，采用焊接弯头与分体式水冷夹套设计的进风管道时，出口气体流速得到提升，壁面温度分布均匀性改善；在连接管道...

第二十三讲离子注入与离子辅助沉积技术————作者：张以忱;

摘要：<正>（接2025年第3期96页）（7）加速的离子可通过薄膜注入到金属衬底内，这种技术被称为离子束混合和离子束缝合技术。它可使薄膜与衬底界面处形成合金层，使得薄膜与衬底牢固粘合，实现辐射增强合金化与离子束辅助增强粘合。（8）采用离子束辅助增强沉积技术，在蒸发和溅射过程中伴随离子注入，可改善镀膜特性

基于时序数据灰度图像的氦检漏设备故障诊断方法研究————作者：瞿骑龙;戴城;张治军;艾士义;

摘要：氦检漏设备传统故障诊断方法存在无法直观表示故障特征、严重依赖专家经验而准确性有限的问题。针对氦检漏设备传感器数据，提出了一种结合卷积神经网络（CNN）的时间序列图像生成方案，对故障数据进行数据驱动分析和故障分类，从而更准确地诊断故障。首先将一维时间序列信号转换为灰度图像进行形象化表达，以适应不同的氦检漏设备故障诊断场景，然后对LeNet-5 CNN模型进行优化，设计了计算速度更快、识别精度最大化的...

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