真空

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真空 关注(): 期刊周期：双月刊; 期刊级别：北大核心; 国内统一刊号：21-1174/TB; 国际标准刊号：1002-0322; 主办单位：中国机械工业集团公司;沈阳真空技术研究所; 主管单位：中国机械工业集团公司;沈阳真空技术研究所; 上一本期杂志：《测绘工程》测绘工程师论文; 下一本期杂志：《四川环境》杂志目录参考

　　【杂志简介】

　　《真空》杂志是中国真空界主要杂志之一。自1994年真空杂志转换经营机制以来，由我国真空企业界实力雄厚的厂家与杂志社联办成立董事会，并由真空学术界著名学者组成编委会。社会效益与经济效益与日俱增，在国内真空界享有盛誉。自1989年公开发行以来，被美国、英国、德国、日本、意大利、韩国以及港澳地区越来越多的海外学者所关注。

　　真空杂志系国家级刊物，首批列入我国“中文核心期刊要目总览”中工业技术类核心期刊，在此类30种期中排列第八名。同时列为“中国科技论文统计与分析”首批统计刊源。近年又首批入编“中国学术期刊光盘版”。由于本刊特色。30多年来在我国真空界享有盛名，颇受广大读者欢迎。为我国真空业界首选技术刊物。发行全国24个省市、自治区，并与境内外多种刊物交换收存。

　　【收录情况】

　　国家新闻出版总署收录　获奖情况

　　工程技术类核心期刊

　　中国期刊网、光盘国家工程中心用刊

　　国外数据库收录

　　美国化学文摘

　　【栏目设置】

　　主要栏目：学术论文、新产品开发、实验技术、系列讲座、综合评述、设计与工艺、经验介绍、市场预测、产品广告、知名厂商、设备维护、知识问答等。

　　杂志优秀目录参考：

　　中国散裂中子源(CSNS)真空系统研制董海义，宋洪，李琦，杨奇，赵晶晶，黄涛，王鹏程，关玉慧，刘鹏飞，刘佳明，DONG Hai-yi，SONG Hong，LI Qi，YANG Qi，ZHAO Jing-jing，HUANG Tao，WANG Peng-cheng，GUAN Yu-hui，LIU Peng-fei，LIU Jia-ming

　　动态相对法真空标准装置简介国家真空设备质量监督检验中心

　　EAST高频弹丸注入装置真空系统设计姚星佳，胡建生，李长征，陈跃，YAO Xing-jia，HU Jian-sheng，LI Chang-zheng，CHEN Yue

　　基于Visual Basic的真空系统计算软件开发王莉君，罗阳，华海宇，WANG Li-jun，LUO Yang，HUA Hai-yu

　　太空旅游燃热点科普教育新突破--510所《载人航天与太空旅游》正式出版沈阳真空杂志社

　　浮动式涡旋干泵的结构设计与特点倪诗茂，NI Shi-mao

　　AVS上海薄膜会议

　　基于分子蒸馏原理的金属铯提纯实验系统研制马寅光，李得天，陈江，王骥，黄良育，成大鹏，刘苏民，MA Yin-guang，LI De-tian，CHEN Jiang，WANG Ji，HUANG Liang-yu，CHENG Da-peng，LIU Su-min

　　中国知网与真空杂志社联合声明中国知网、真空杂志社

　　真空喷射雾化过程中喷嘴口的流动模型计算与数值分析韩宇，李建昌，HAN Yu，LI Jian-chang

　　大口径低温泵之制冷机R65的研制熊鹰，杜建伟，徐海波，王为民，XIONG Ying，DU Jian-wei，XU Hai-bo，WANG Wei-min

　　真空自耗电弧炉恒熔速控制系统改造王勃，陈鼎，孙足来，WANG Bo，CHEN Ding，SUN Zu-lai

　　多晶硅铸锭炉扩容后的安全性分析及安全措施研究周社柱，王锋，张桂芸，王成君，冯宏亮，ZHOU She-zhu，WANG Feng，ZHANG Gui-yun，WANG Cheng-jun，FENG Hong-liang

　　中国农机化投稿：机械电气设备故障的应急处理

　　摘要：现代工程的进行离不开机械电气设备，电气设备在数年来的发展下愈加机械化与电气化，极大地提高了工程效率。然而，机械电气设备在愈加智能化、自动化的同时会出现许多故障，这些故障或多或少地影响到工程的正常进行，引起一定的经济损失。为了避免因设备故障影响工程实施，相关工作人员必须针对设备故障进行应急处理。该文试探讨工程中机械电气设备的常见故障，包括开关故障、转子回路的短路故障、启动电抗器的接地故障，以及分别对应的应急处理措施。

　　关键词：工程机械,电气设备,设备故障,故障应急处理

　　机械电气设备的功能随着科学技术的提高具有越来越高的科技含量，对于企业的生产具有极为重要的意义。然而，或因设备本身设计的缺陷、制造过程中的不足，或因外部环境恶劣、人员操作不当，机械电气设备会出现影响到设备正常运行的故障，常规维修固然可以最好地保证设备功能正常，但是会耗费较长的时间，企业无法接受停工造成的经济损失，为此，必须要有应急措施来处理设备故障。

　　真空最新期刊目录

热等静压炉用预应力钢丝缠绕芯筒屈曲失效分析

摘要：以某型热等静压炉用双层筒壁芯筒为研究对象，基于圆筒屈曲理论，探究等剪切力预应力钢丝缠绕层对芯筒屈曲失效行为的影响。采用弹性预应力屈曲分析与弹塑性屈曲分析两种数值仿真方法，将仿真得到的外压屈曲临界压力与基于经典 Bresse-Bryan公式的解析值进行对比验证。结果表明：Bresse-Bryan公式的解析值与数值仿真结果存在显著偏差，且解析值偏高，无法准确表征芯筒的实际外压承载能力；相较于弹性预应力...

真空度对316L激光熔覆涂层微观组织与性能的影响

摘要：为抑制大气激光熔覆导致的涂层氧化缺陷，本研究采用真空激光熔覆技术制备316L不锈钢涂层，系统探究了真空度（由低至高）对涂层微观组织与性能的影响。结果表明，随着真空度提升（氧含量降低），涂层中氧化物夹杂显著减少，晶粒得到明显细化：一次枝晶间距由大气环境下的14.52μm 降低至高真空条件下(10^-1Pa )的5.84μm。与此同时，涂层气孔率由常压条件下的2.85%显著下降至...

基于磁场控制纳米薄膜厚度制作渐变色技术

摘要：本研究旨在通过控制溅射成膜过程中不同区域的厚度梯度，实现渐变色视觉效果。通过在磁控溅射中引入外加磁铁的方法，创新性地将磁铁放置在镀膜基板背面，背面磁场穿透基片进入溅射空间，俘获二次电子形成局部高密度电子云。这增加了基片外加磁场附近的溅射粒子碰撞电离的几率，提高了外加磁场附近局部电离率。实现了磁场控制纳米薄膜厚度分布梯度，使得镀膜玻璃不同位置薄膜厚度呈非均一分布，实现了丰富多彩的渐变色效果。通过调整...

PVD涂层真空磁控溅射镀膜设备优化传动控制技术

摘要：为解决真空磁控溅射镀膜设备因传动链扭振与磁路干扰导致的传动系统的控制精度低、响应迟缓问题，研究了PVD涂层真空磁控溅射镀膜设备优化传动控制技术。基于真空磁控区域，明确振动传递目标，并以该目标为导向，加装阻尼减震器以抑制外部磁路干扰，实现传动链的扭振隔离。在隔离状态下，采用集成传动方式，通过增设衔铁抵消磁阻，在传动链上建立调度关联，实现虚拟阻尼的传动集成。采用交叉闭环方式，按照传动集成顺序进行协同处...

真空炉隔热屏设计与研究

摘要：隔热屏对真空炉的保温效率和温度均匀性具有直接影响，决定了其能耗、加热效率和工件质量。文章介绍了隔热屏材料类型、物理性能及增强涂料物化特性；梳理了隔热屏的四种基本结构，分析了它们的适用条件；总结了隔热效果的影响因素及评价指标。为满足真空炉的高隔热与精准控温需求，未来应致力于新型金属与非金属组合隔热屏的模块化、区域化与集成化设计，旨在实现不同炉型多工况下隔热屏的在线智能检测与控制

瞬态场耦合下的真空断路器电磁兼容性优化

摘要：为应对瞬态场耦合形成的强电磁干扰源对真空断路器电磁兼容性造成的问题，提升真空断路器的抗电磁干扰能力，本研究提出瞬态场耦合下的真空断路器电磁兼容性优化方法。该方法在瞬态场耦合分析下将电磁转矩纳入失效率模型，以真空断路器平均无故障时间作为兼容性失效指标；结合真空灭弧室内部屏蔽罩和触头的设计参数，确定电磁兼容性优化模型，结合改进深度学习实现真空断路器电磁兼容性多参数协同优化。结果显示：优化后电场分布均匀...

电子束焊机局部真空技术设计应用

摘要：为满足核工业复杂工件电子束焊接工艺需求，本文提出了一种局部真空电子束焊机设计方案。详细阐述了该设备的总体结构设计框架，并构建了由主室（焊接室）、副室、电子枪室及过渡小室组成的局部真空系统。在密封结构上，创新性地提出了一种“正负压协同驱动”的充气密封系统，通过气囊内部充气与外部抽气的联合作用，显著提升了密封界面接触压力，并结合双重气囊串联布置与过渡室真空阻隔机制，形成多重防护密封结构，有效解决了局部...

流体介质作用下新制三偏心真空蝶阀阀体动态失稳临界载荷分析

摘要：在真空系统中介质压力脉动与阀板开度的动态耦合会严重威胁系统的真空密封性，加剧阀体的应力分布不均匀及变形，进而降低阀体的失稳载荷。因此，文章分析了流体介质作用下新制三偏心真空蝶阀阀体动态失稳临界载荷。基于ANSYS Workbench平台，建立三维参数化模型，进行真空/低压流体介质（150℃水蒸气，克努森数范围0.003～0.1，滑移流区）非定常流动与阀体结构间的双向流固耦合（FSI）计算。在流体域...

第二十四讲石墨烯薄膜的制备及其应用

摘要：<正>（接2026年第2期112页）6.1.2石墨烯的制备方法石墨烯的规模化和高质量制备是其应用的前提和基础，也是石墨烯研究领域的重点和热点。目前制备石墨烯的主要方法有机械剥离法、氧化石墨还原法、外延生长法和化学气相沉积法（CVD法）。机械剥离法（mechanical exfoliation）是2008年诺贝尔奖获得者英国曼彻斯特大学Geim教授和Novoselov教授首次制备石墨烯时...

负压环境下的超声波泄漏检测与真空驱动原位密封技术研究

摘要：为保障医用真空系统长期稳定地运行需要定期检漏。传统方法的检漏过程需停机且效率低，本文提出一种基于超声波信号与深度学习诊断模型结合的泄漏检测与真空驱动自渗透原位修复一体化技术，可以实现微小泄漏的快速识别和原位密封，保障系统连续运行。该方法利用高灵敏度压电传感器捕获负压环境下的结构声信号，通过CNN-LSTM深度学习模型自动提取时空特征，实现微米级泄漏点的高精度识别与定位；随后，利用真空压差驱动低黏度...

真空绝热板真空度原位监测与衰减预测模型及其在建筑节能调控中的应用

摘要：为解决建筑节能领域中真空绝热板（VIP）在长期服役下因真空维持失效导致的绝热性能劣化问题，本文研究了真空绝热板真空维持状态的原位监测技术，并据此建立了建筑节能动态调控策略。搭建了多模态真空状态监测平台，实时原位采集VIP芯材真空维持状态的关键参数；结合改进粒子滤波算法，构建了真空衰减动力学模型，动态预测VIP在不同严苛气候条件下真空维持能力的退化轨迹；开发了基于深度强化学习的建筑围护结构动态优化系...

关于大型真空感应炉宏观架构的讨论

摘要：大型真空感应炉是高温合金生产的核心主力设备，过去几十年内这种高端设备基本上被美、德等国际知名企业所垄断。面临复杂的国际形势，我国在大型真空感应炉领域内势必要实现国产替代。文章以大型真空感应炉为研究对象，深入分析了国外主流的几种大型真空感应炉宏观架构特点；然后分别介绍了几种国外主流的大型真空感应炉产品架构；最后，在吸收国外先进经验的基础上提出一种可满足3～30 t量级的大型真空感应炉的全新架构

高寒高海拔隧道真空排水系统设计及运行真空稳定性研究

摘要：针对高寒高海拔隧道中传统重力排水系统易因冻结堵塞与低气压失效的问题，开展真空排水系统在极端环境下的适应性设计与真空稳定性研究。构建引入气压、温度、渗流修正因子的系统设计方法，提出泵效环境修正模型与分区冗余布设策略，并在高原隧道完成实地部署与运行监测。基于SCADA平台，建立真空度与环境参数的耦合响应模型，识别密封退化、流阻升高与泵效波动为主导扰动机制。结果表明：系统管内相对压力可稳定维持在-75～...

质谱仪离子信号链路中的电学测量与控制技术

摘要：质谱仪离子产生、传输及检测的物理机制已较为明确，由于应用环境逐渐复杂多样，电压稳定性、射频电场精度和弱信号测量能力等电学调控因素限制了质谱仪性能的优化提升。近年来相关研究从电学测量与控制角度对离子源、质量分析器和检测系统开展了大量改进工作，提升了局部性能。然而针对离子从产生、经质量分析与传输，直至信号采集的完整离子链路，缺乏统一的电学分析。文章从离子信号链路整体视角着手，针对离子产生、质量分析传输...

氮掺杂含量对氧化镓薄膜性质的影响

摘要：针对氧化镓p型掺杂困难的瓶颈问题，本文采用射频磁控溅射法在Si和石英衬底上制备了不同氮掺杂含量的β-Ga₂O₃薄膜，并系统研究了N掺杂对其结构、光学与电学性质的影响。研究结果表明：N掺杂并未改变β-Ga₂O₃的基本晶体结构，但对其光学带隙产生了显著的调制作用，随N含量增加，光学带隙从4.56 eV减小至4.19...

电弧离子镀制备NiCoCrAlY涂层高温抗氧化性能研究

摘要：镍基高温合金因其优异的高温力学性能被广泛用于燃气轮机热端部件，但在950 ℃以上长期服役时易发生快速氧化而失效。本研究旨在利用电弧离子镀技术在IN925镍基合金基体上沉积NiCoCrAlY涂层，并系统评估基体和涂层在950 ℃ 和1050 ℃空气中的等温氧化性能与机制。通过200小时氧化动力学测试及三维共聚焦显微镜、能谱分析、X射线衍射和扫描电子显微镜等表征测试方法进行分析。结果表明：涂层表面能快...

TiB₂-BN复相陶瓷腐蚀特征与界面失效机理探索

摘要：核心蒸发元件陶瓷蒸发舟的寿命限制，导致真空连续蒸镀技术在复合集流体行业应用仍然受限，针对TiB₂-BN复相陶瓷体系，基于不同组分构成，系统开展其腐蚀行为的差异化分析，深入探究各组分对材料腐蚀过程、腐蚀机制及腐蚀性能的影响规律。对复合集流体用蒸发舟的腐蚀过程进行跟踪，利用XRD、SEM等技术对腐蚀过程的微区成分、结构变化进行了表征，并对蒸发舟表面不同腐蚀区域进行成分分析，确认T...

阀芯倾角对分子通量影响的研究

摘要：流量阀作为分子束外延（MBE，Molecular Beam Epitaxy）系统的核心部件，其几何精度直接决定镀膜室内分子通量的控制性能与薄膜沉积的稳定性，阀芯偏斜会对分子通量产生影响。研究采用实验与模拟相结合的方法，系统探究不同倾角对分子流量的影响。首先搭建了由砷蒸发腔、流量阀、裂解源和镀膜腔组成的实验系统，利用质谱仪测量不同阀芯行程下镀膜腔中砷原子信号计算本底等效压力（background e...

真空烧结工艺对Si-Ca系钢渣陶瓷结构与性能影响研究

摘要：本文系统研究了真空烧结对Si-Ca体系钢渣陶瓷材料烧结特性、微观结构与力学性能的影响研究。通过对比真空下与常压条件下烧结材料的体积密度、吸水性、抗折强度及其显微结构的变化，探究了真空环境对陶瓷（钢渣、铁尾矿和粉煤灰等工业固体废弃物烧结而成）烧结过程的性能影响。研究表明，真空烧结可显著提高同等温度条件下（W系-1 105℃、F系1 130℃）陶瓷材料的体积密度、降低其吸水性，在较常压烧结至少低20℃...

强磁场环境下冷阴极规真空测量的磁屏蔽结构设计与实验验证

摘要：针对强磁场导致冷阴极规真空测量失效的问题，本文提出一种适用于紧凑空间的磁屏蔽结构，并开展仿真与实验研究^[1]。冷阴极规基于潘宁放电原理，在托卡马克装置边缘高达300 mT的强稳态磁场下，其内部放电机制被严重干扰，导致测量失效^[2]。本文基于静磁场屏蔽理论，设计了以电工纯铁（DT4C）为材料的椭圆截面磁屏蔽体，在有限安装空间内最大化材料利用率与屏蔽效率。通...

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