真空科学与技术学报

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真空科学与技术学报 关注(): 期刊周期：月刊; 期刊级别：国家级; 国内统一刊号：11-5177/TB; 国际标准刊号：1672-7126; 主办单位：中国真空学会; 主管单位：中国科学技术协会; 查看真空科学与技术学报近十年数据入口>>>; 上一本期杂志：《包装工程》工程师职称论文发表; 下一本期杂志：《消防科学与技术》杂志编辑部

　　【杂志简介】

　　《真空科学与技术学报》主要刊登真空技术、表面与界面物理与化学、表面分析、电子材料、薄膜物理与工艺、真空冶金、等离子体科学与工艺等。

　　主要栏目有：学术论文、综述评论、技术交流、工业技术、科研动态与学术活动、快报等。

　　【收录情况】

　　国家新闻出版总署收录　国外数据库收录

　　美国化学文摘

　　【栏目设置】

　　主要栏目有：学术论文、综述评论、技术交流、工业技术、科研动态与学术活动、快报等。

　　杂志优秀目录参考：

　　容性耦合等离子体腔室放电特性仿真研究杨旺，刘学平，夏焕雄，向东，牟鹏，Yang Wang，Liu Xueping，Xia Huanxiong，Xiang Dong，Mou Peng

　　用Langmuir探针法标定的发射光谱法诊断等离子体电子密度及分布陈宗胜，林志丹，时家明，马丽芳，Chen Zongsheng，Lin Zhidan，Shi Jiaming，Ma Lifang

　　基于PEM和模糊PI的反应磁控溅射非线性控制方法张军，叶敏，张新荣，张道配，Zhang Jun，Ye Min，Zhang Xinrong，Zhang Daopei

　　应用于等离子体破裂防护的双涡流驱动快速充气阀的研制庄会东，张晓东，Zhuang Huidong，Zhuang Xiaodong

　　多模式旋转磁场对电弧离子镀弧斑放电的影响分析郎文昌，高斌，杜昊，肖金泉，谢婷婷，王向红，Lang Wenchang，Gao Bin，Du Hao，Xiao Jinquan，Xie Tingting，Wang Xianghong

　　高碳锰铁预氧化—真空脱碳制备低碳锰铁热力学分析及实验研究徐宝强，马永博，杨斌，刘大春，Xu Baoqiang，Ma Yongbo，Yang Bin，Liu Dachun

　　TiO2真空碳热反应及可溶性TiO阳极电解过程研究赵坤，王耀武，陈昪，李应龙，冯乃祥，Zhao Kun，Wang Yaowu，Chen Bian，Li Yinglong，Feng Naixiang

　　气相合金化制备镁锌二元合金的研究牛立斌，许臻，彭建洪，王晓刚，樊子民，Niu Libin，Xu Zhen，Peng Jianhong，Wang Xiaogang，Fan Zimin

　　氧化铝真空碳热还原氯化歧化过程中二氯化铝行为研究卢勇，周岳珍，陈秀敏，舒凯，高腾飞，郁青春，刘大春，杨斌，徐宝强

　　磁控溅射制备Er3+掺杂Al2O3薄膜的上转换发光特性王俊，毛鑫光，沈杰，Wang Jun，Mao Xinguang，Shen Jie

　　Ti6Al4V磁控溅射沉积Ti-Ag-(N)薄膜及其抗菌性的研究郭杨阳，田伟红，黄晓波，张翔宇，李轩鹏，范爱兰，唐宾，刘小萍

　　真空蒸镀Ag2O/HDPE膜对奶酪的保鲜性研究李亚娜，徐伟民，张国全，Li Yana，Xu Weimin，Zhang Guoquan

　　N离子注入对TiN薄膜的组织及性能的影响冯军，金凡亚，童洪辉，但敏，沈丽如，陈美艳，邓雉，赖新春

　　冶金类评职称投稿：利用尾矿废石和钢渣制备无熟料早强型 C30混凝土

　　摘要：研究利用钢渣、矿渣、脱硫石膏作胶凝材料，北京密云地区铁尾矿废石及废砂作粗细骨料制备无熟料早强型C30混凝土。确定钢渣、矿渣超细粉的最佳粉磨时间，试验得出胶凝材料的最佳配合比。使用SMФ500×500型小型球磨机对钢渣、矿渣、脱硫石膏进行机械粉磨，钢渣比表面积达到 630 m2/kg，矿渣比表面积达到580 m2/kg，脱硫石膏粉磨25min。通过胶凝材料配合比的确定实验得出最优配方为：胶凝材料中钢渣粉占28%，矿渣粉占60%，脱硫石膏占12%的配方最优。在标准养护条件下，所制备混凝土试块早期强度较高，力学性能符合C30混凝土的要求。借助XRD和SEM分析了钢渣-矿渣-脱硫石膏基胶凝材料的水化产物，探讨该体系的水化反应机理。该胶凝材料的水化产物主要是水化硅酸钙(C-S-H)、钙矾石(AFt)、二水石膏(CaSO4・2H2O)、莱粒硅钙石[Ca5(SO4)2(OH)2]。体系的水化过程主要经历了钢渣及矿渣的解体、水化产物的形成和生长、水化产物与未水化产物的凝聚和硬化三个阶段。

　　关键词：钢渣,矿渣,脱硫石膏,C30混凝土

　　真空科学与技术学报最新期刊目录

螺杆真空泵抽气性能预测模型与分析方法研究————作者：吴俊;朱文明;何海斌;王雷;吴青云;王旭迪;吴杰;

摘要：随着半导体等领域对真空环境洁净度要求的提高，干式螺杆真空泵凭其无油、高抽速、节能等特性被广泛应用。通过数值模型实现对螺杆真空泵的抽气性能预测，是其研发设计的关键。已有螺杆真空泵抽速性能预测的腔室模型，不能正确给出气体在泵内输运过程的压强连续变化曲线。为此，本文提出了一种新的“动态腔室模型”，用于螺杆真空泵的抽气性能预测研究。通过与实验抽速曲线的对比，验证了本文提出的新模型能够更精确地预测螺杆真空泵...

EAST装置低Z材料粉末注入系统振动与流量控制研究————作者：朱运;徐伟;左桂忠;汪哲;管艳红;元京升;黄明;胡建生;

摘要：在磁约束核聚变全超导托卡马克（EAST）等离子体放电中，通过实时低Z粉末材料注入可以进行实时壁处理，有效地控制来自第一壁的杂质和燃料粒子再循环，促进高约束模式放电的获得与稳定维持。粉末注入系统通过压电陶瓷片在特定频率正弦波电压驱动下，产生共振从而驱动粉末流动，其振动特性直接关系到粉末注入的流量及稳定性等。本文重点研究了压电陶瓷片的振动模态、共振频率及其粉末流量的定标关系。首先，单一压电陶瓷片振动模...

油气回收真空泵压缩机性能智能测试系统研究及工程应用————作者：徐法俭;刘继睿;潘成新;黄志婷;王延建;刘玉倩;任昌青;

摘要：油气回收是资源循环利用、环境保护、持续发展的动力，更是全球治理和社会发展需要。化石能源开采、输运、使用过程中挥发性油气不断产生，收集处理这些气体的装备涉及到真空泵、压缩机等。抽速和真空度是真空-压缩机最重要、互相关联参量，不同类型的真空泵有不同的气量测定理论、方法和规范。定压法和定质量流量是最常用的方法，传统测量方法采用手动控制测量元件，取得原始参数，再套入标准、规范公式计算出真空泵和压缩机的流量...

真空下陶瓷的摩擦放气现象及机理研究————作者：张腾巍;周瑞安;王旭迪;

摘要：压电陶瓷电机凭借高精度控制与无润滑系统的特性，在高真空乃至超高真空系统中应用日益广泛。然而，依靠摩擦驱动的压电陶瓷电机在运行时，不可避免地会产生摩擦放气现象，排出的气体将污染洁净的真空环境。因此，开展陶瓷在真空条件下的摩擦放气实验，研究其放气现象与机理，是有效控制摩擦放气影响的关键。本文以常用的96% 氧化铝陶瓷片为研究对象，在不同载荷、滑动速度和滑动距离的变量下，测定其摩擦放气量；运用RGA 质...

真空旁路开关机构运动特性不确定性分析————作者：陈海;李国铮;刘晓明;李培源;郑佳圆;史红菲;陈军平;

摘要：本文以3.6 kV/2500 A真空旁路开关适配单稳态永磁操动机构为研究对象，首先构建其三维物理数学模型，并通过有限元法开展数值模拟，聚焦机构服役过程中由于结构参量和外加驱动激励存在的不确定性因素，采用混沌多项式展开（PCE）法分析结构参数和外加激励的变化对机构平均速度与末速度概率分布的影响规律，并给出机构稳定运行所需的结构参数与激励参数可靠区间阈值

同步辐射储存环束线管封装平台设计与研究————作者：余清洲;史根木;王思慧;陈肇玺;杨庆喜;

摘要：为满足储存环束线管在组装前的封装保护需求，本研究开发了一套高效多通道束线管封装平台。平台采用模块化三腔结构设计，并通过高真空插板阀实现灵活隔离与联通，使其既能在调试阶段进行整体抽气，又可在封装阶段灵活切换抽气与充气路径；同时，平台支持单批次同步封装4根束线管，并配置多泵组协同抽气系统，从而有效避免了传统系统频繁启停的问题，实现高效连续封装。本文对平台真空腔在抽真空、烘烤抽气和充气封装三种典型工况下...

基于阿伦尼乌斯公式的不同材料放气加速因子研究————作者：宋仕涵;刘文豪;周瑞安;王旭迪;

摘要：在材料放气的研究中，阿伦尼乌斯公式常用于加速寿命实验的加速因子计算，利用活化能定量表征其与温度之间的关系。然而，当前研究中往往忽略了放气率在实验过程中的变化，导致理论模型与实际结果存在偏差。本文以阿伦尼乌斯公式为基础，从理论上分别探讨了其与金属材料（304 不锈钢）和聚合物材料（聚酰亚胺）放气机理间的联系。结合材料放气的活化能与衰减因子，本文建立了统一的加速因子数学模型，并通过两种实验方法（流导法...

紫外辐照对聚酰亚胺薄膜放气率的影响————作者：周瑞安;张腾巍;宋仕涵;王旭迪;

摘要：真空系统中材料的放气率是影响其真空度的关键因素。聚酰亚胺（PI）因其优异性能广泛应用于真空领域，但其表面和内部会吸附溶解大量气体，导致未经处理的PI放气率可达10^-6 Pa·m³/(s·cm²)量级。本文以聚酰亚胺薄膜为研究对象，系统探究紫外辐照对其放气行为的调控机制。通过设计波长（185 nm、254 nm、365 nm）、功率（...

亚微米碳基薄膜抑制二次电子发射效应及其对微放电阈值的调控————作者：段潮锋;胡笑钏;楚坤;王健;封国宝;胡天存;

摘要：在微波场作用下，空间电子谐振倍增引起的微放电效应是导致航天器性能下降的重要因素。碳薄膜通过抑制二次电子发射，对降低微放电效应风险具有显著潜力。本研究采用磁控溅射法，通过控制溅射功率在铜表面沉积不同厚度的亚微米碳基薄膜，测量其二次电子发射系数（Secondary electron yield，SEY），采用扫描电子显微镜对样品表面形貌、成分、薄膜厚度进行分析表征，通过CST Studio Suite...

一种微针尖环形阵列阴极电子枪————作者：俞道龙;刘志霞;丁文浩;赵浩东;汪正义;徐季;

摘要：本文设计了一种场发射碳纳米管冷阴极微焦点电子枪，阴极采用圆锥形状沿对称轴一分为二，切面为底面，并在圆柱形凹槽内均匀分布，组成环形阵列，该设计呈凹面形状，具备预聚焦效果，为后续聚焦系统提供了更为理想的入射条件。此外，设计中还包括菱形栅孔栅网和双曲聚焦电极。阴极采用微针尖设计，显著增强尖端的电场强度，从而提高发射电流密度并降低开启电压；菱形栅孔栅网则能够实现较高的电子通过率；双曲聚焦电极通过优化电场分...

束流轰击角度与材料解吸特性关系研究————作者：谢文君;蒙峻;罗成;杨伟顺;焦纪强;柴振;刘建龙;李超;

摘要：针对材料解吸导致的真空劣化问题，重点研究了轰击角度与材料解吸率的关联机制。通过自主研发可调角度的多样靶材解吸率测试装置，采用143 keV/u Bi³²⁺离子束对氧化锆陶瓷、陶瓷镀金及不锈钢镀金三类材料进行解吸特性研究。结果表明：材料解吸率随入射角度增加呈现显著增长趋势，束流轰击靶材时H₂占比迅速增加；表面镀金处理可使氧化锆样件解吸率降低约50%，而不同...

应用于全固态薄膜电池的硫薄膜正极————作者：邓人铭;谢永辉;王星辉;

摘要：随着物联网时代的来临，人们对于可与集成电路兼容制造的微型电源的需求日益迫切。全固态薄膜电池（All-solid-state thin-film batteries，ASSTFBs）采用薄膜制造工艺而成为能与集成电路集成制造的理想片上电源。锂硫电池具有极高的理论能量密度，若将其应用于ASSTFBs，则有望大幅提升其能量密度。然而，单质硫的低熔点以及固有的迟滞动力学导致了研究人员对硫薄膜的制备经验不足...

衬底修饰层诱导的高覆盖率单层MoS₂晶圆生长研究————作者：左浩松;刘一禾;陈匡磊;胥如峰;张铮;张先坤;张跃;

摘要：作为后摩尔时代集成电路发展的关键候选材料之一，二维二硫化钼（MoS₂）晶圆级高质量制备是其产业化应用的重要基础。当前基于蓝宝石衬底的化学气相沉积（CVD）法虽可实现大尺寸MoS₂薄膜生长，但受限于气相MoO₃在蓝宝石AlO界面上吸附能力较弱导致的钼源不均匀沉积，造成了薄膜翘曲和裂纹缺陷等问题。研究提出了一种蓝宝石衬底表面预制备Al-...

低温技术的发展及未来趋势————作者：林煜杰;潘长钊;刘旭明;俞大鹏;

摘要：工业革命以来，随着氮、氢和氦等气体成功液化，同时超导现象的发现，低温技术得以迅速发展。文章回顾了低温技术的发展历史，从被动利用天然冰到热力学理论建立与主动制冷技术的突破，特别是Joule-Thomson效应与超导现象的发现；介绍了低温技术的基本工作原理，包括绝热膨胀、节流效应和蒸气压缩制冷循环，并重点描述了G-M制冷机、脉管制冷机和稀释制冷机典型设备；阐述了低温技术在科学研究、工业生产、航空航天和...

电子束光刻技术介绍与展望————作者：郭晨瑜;王文豪;宋学锋;张振生;俞大鹏;

摘要：电子束光刻（Electron Beam Lithography,EBL）作为能够实现亚微米乃至纳米尺度图形化制造的常用微纳加工技术，凭借其高的加工精度与灵活的图形加工能力，在微纳制造领域扮演着至关重要的角色。文章系统性地回顾了电子束光刻技术的基本物理原理及设备发展脉络。重点阐述了早期基于扫描电子显微镜的高斯束EBL设备，以及为突破写入效率和精度瓶颈而演进的商用变形束与前沿的多束EBL系统，并在此基...

编委按————作者：张跃;顾长志;戴庆;

摘要：<正>2022年，中国真空学会提出的“如何实现原子尺度精准制备和结构调控构建未来信息功能器件"这一前沿科学问题，成功入选中国科协当年发布的十大关键科学问题。该问题聚焦于原子尺度下的新材料创制、新器件构筑以及跨尺度物性调控，深刻回应了新一轮信息技术革命背景下我国材料、纳米和信息等多学科交叉前沿的发展需求。这一科学问题的提出，源于信息器件微缩化趋势带来的根本性挑战。随着传统硅基器件逐步逼近...

基于超导高重频加速器的大连先进光源束流测试平台真空系统————作者：赵峰;魏建平;常仁超;朱潇潇;赵禹;张浩;李磊;林涵文;尉伟;

摘要：大连先进光源（DALS）是规划中基于超导连续波直线加速器架构的极紫外自由电子激光综合装置，其核心目标是通过1 GeV电子束流产生重复频率1 MHz、波长覆盖6.5～180 nm的高亮度自由电子激光装置。作为DALS建设的关键预研项目，DALS束流测试平台旨在突破高品质束流生成的核心技术瓶颈。本工作面向使用超导高重频加速器的束流测试平台常温段真空系统的真空系统设计及关键技术，基于束流物理参数需求，通...

大面积微带天线真空汽相焊接工艺研究————作者：陈天宇;包杰;王民超;宁宗翔;夏明凯;

摘要：采用常规曲线焊接微带天线易导致焊接强度不足，同时大面积微带天线翘曲严重无法保证焊接强度，为实现大面积微带天线可靠的机械连接，基于多相流VOF方程建立真空汽相焊接模型，预测微带天线真空汽相焊接时的温度场，通过单因素法确定合适的焊接工艺窗口，测温数据显示焊接仿真误差不超过3.5%，试验测温显示微带天线中央比四周高20℃，微带天线与框架焊接空洞率低于10%，表明建立的焊接模型预测温度场较为准确，可为焊接...

八面体模型理论应用：泡沫陶瓷的比表面积————作者：刘培生;程伟;杨春艳;

摘要：基于多孔材料八面体结构模型，通过适当的数学处理方法，作者获得了此类材料的比表面积计算公式。本文通过若干泡沫陶瓷产品比表面积的实践研究，对该计算公式进行了系列的实践应用和验证。既涉及不同材质的泡沫陶瓷产品，也涉及不同结构的泡沫陶瓷产品。研究结果显示，本表征公式既可较好地计算不同材质的泡沫陶瓷的比表面积，也可较好地计算不同结构的泡沫陶瓷的比表面积。这说明本表征公式对泡沫陶瓷比表面积的计算具有良好的实践...

超导加速模组水平测试平台真空泵站结构分析与优化————作者：赵凡;李菡;尉伟;岳泰;李靖国;孙兴中;

摘要：文章以超导加速模组水平测试平台的束流真空泵站为研究对象，开展结构仿真分析和多目标优化设计，以满足其安全性和轻量化要求。首先，基于静力学仿真和子模型技术，分析真空泵站的强度和刚度并提出优化方案。随后，通过中心复合设计（CCD）方法和参数化仿真获得试验样本空间，建立克里金（Kriging）代理模型并进行响应面分析。最后，采用多目标遗传算法（MOGA）求得帕累托（Pareto）最优解，并对优选方案进行仿...

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