JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY A中科院中属于4区。
该刊的中文名《真空科学与技术杂志A》，创刊于1984年，年发文量在232篇，依据往期投稿者经验反馈，该刊的审稿速度是一般,3-6周。
1983年，原《真空科学与技术杂志》拆分后，创办了《真空科学与技术杂志A》和《真空科学与技术杂志B》。JVSTA致力于出版关于材料、薄膜和等离子体的界面和表面的原始研究报告、信件和评论文章。JVSTA发布的报告在基本层面上促进了对接口和表面的基本理解，并使用这种理解促进了各种技术应用程序中的最新技术。范围包括但不限于以下主题:应用和基础表面科学原子层沉积电子和光子材料及其加工磁性薄膜和界面用于能量转换和储存的材料和薄膜光伏，包括无机和有机薄膜太阳能电池等离子体科学与技术，包括等离子体-表面相互作用、等离子体诊断、等离子体沉积和蚀刻以及等离子体在微电子和纳米电子领域的应用表面工程薄膜沉积、蚀刻、性质及特性透射电镜，包括原位法摩擦学真空科学与技术
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY A中科院分区基础版：
| 大类学科 | 分区 | 小类学科 | 分区 | Top期刊 | 综述期刊 |
| 工程技术 | 4区 | MATERIALS SCIENCE, COATINGS & FILMS 材料科学：膜 PHYSICS, APPLIED 物理：应用 | 4区 4区 | 否 | 否 |
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY A中科院分区升级版：
| 大类学科 | 分区 | 小类学科 | 分区 | Top期刊 | 综述期刊 |
| 材料科学 | 3区 | MATERIALS SCIENCE, COATINGS & FILMS 材料科学：膜 PHYSICS, APPLIED 物理：应用 | 3区 3区 | 否 | 否 |
拓展阅读：
问题一：什么是中科院分区?
由于不同学科之间的SCI期刊很难进行比较和评价，中国科学院国家科学图书馆世界科学前沿分析中心(原中国科学院文献情报中心)，对目前SCI核心库加上扩展库期刊的影响力等因素，以年度和学科为单位，对SCI期刊进行4个等级的划分。一般而言，发表在1区和2区的SCI论文，通常被认为是该学科领域的比较重要的成果。期刊分区表自2004年发布，延续至今;2019年推出升级版，实现基础版、升级版并存过渡，2022年只发布升级版。2004年至2023年《期刊分区表》数据每年底发布，从2025年开始改为年初发布。
问题二：什么是中科院分区基础版
将JCR中所有期刊分为数学、物理、化学、生物、地学、天文、工程技术、医学、环境科学、农林科学、社会科学、管理科学及综合性期刊13 大类。每个学科分类按照期刊的3年平均影响因子高低，分为4四个区，呈金字塔状分布：前5%为一区，6%~20%为二区，21%~50%为三区，后50%为四区。
问题三：中科院分区升级版
2022年开始，中科院开始只发布分区表升级版，升级版作了两方面升级：
(1)评价指标上，采用“期刊超越指数”替代传统的影响因子，突破均值指标的瓶颈，更客观、更全面地反映期刊整体水平，解决了学科差异、文献类型差异、偏态分布等问题。
“期刊超越指数”的计算方法：从期刊A选择的任一论文，其引用数大于从其它期刊选择的一篇相同主题、相同文献类型论文的引用数的概率。
(2)学科分类上，采用“Paper-level 归一化分类体系”，把每篇论文都划分到一个主题，和传统情况下的期刊属于什么学科，论文就属于什么学科的分类有很大差别。
问题四：我们选刊的时候该刊哪个分区?
其实两种分区方式都比较权威，主要取决于您的单位更认可哪种。